[发明专利]一种基于钽酸钾表面电子气的自激励电阻计时器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于钽酸钾表面电子气的自激励电阻计时器，其特征在于：它包括金属电极、钽酸钾单晶基片；基片表面具有高能氩离子束轰击产生的氧空位，形成二维电子气层，电阻随时间的延长呈线性增长。

2.一种基于钽酸钾表面电子气的自激励电阻计时器的制备方法，其特征在于：以钽酸钾单晶材料为衬底，采用Ar⁺氩离子束轰击工艺，在钽酸钾表面产生氧空位，形成二维电子气层；通过改变Ar⁺轰击电压，调制二维电子气的载流子密度，得到对应的电阻随时间增长速率不同的自激励电阻计时器。

3.根据权利要求2所述的一种基于钽酸钾表面电子气的自激励电阻计时器的制备方法，其特征在于：Ar⁺轰击电压为 200～500 V，氩气气压为2×10^-4～5×10^-4 mbar,轰击时间为2～15分钟。

4.根据权利要求2所述的一种基于钽酸钾表面二维电子气的自激励电阻计时器的制备方法，其特征在于：用聚甲基丙烯酸甲酯旋涂于钽酸钾表面，排除空气中的氧气对于表面电子气层的负面影响。