[发明专利]无节点补强板双面蚀刻工艺在审

专利信息
申请号: 202011158281.5 申请日: 2020-10-26
公开(公告)号: CN112235953A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 陈彪;沈建春;朱承璋 申请(专利权)人: 昆山迪卡特精密电子有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K1/02;G03F7/00
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 赵红霞
地址: 215300 江苏省昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 节点 补强板 双面 蚀刻 工艺
【权利要求书】:

1.无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于包括如下步骤:

S1钢片清洁;

S2涂布、曝光、显影,在钢片的第一面及第二面上进行涂布、曝光、显影;

S3第一蚀刻,至少对第一面蚀刻,所述第一面蚀刻至少包括补强板外轮廓槽蚀刻,蚀刻深度大于钢片厚度的1/2;

S4第一面覆膜,在蚀刻成型的第一面上进行保护膜粘合;

S5第二蚀刻,对第二面蚀刻,至少包括与补强板外轮廓槽相配合贯通的补形槽蚀刻;

S6第二面清洁,对第二面进行涂布层去除清洁并干燥处理;

S7第二面覆膜,在蚀刻成型的第二面上进行保护膜粘合;

S8第一面揭膜,将第一面上的保护膜去除;

S9第一面清洁,对第一面进行涂布层去除清洁并干燥处理。

2.根据权利要求1所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述步骤S3中,对第一面和第二面进行同步蚀刻,并且蚀刻后补强板外轮廓槽与钢片处于连接状态。

3.根据权利要求1所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述步骤S5中,在第二面蚀刻前进行第二面的二次涂布、曝光、显影。

4.根据权利要求1所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述步骤S3和步骤S5采用相同蚀刻液,

所述蚀刻液包括三氯化铁、二氯化铁、氯酸钾、盐酸、重金属沉淀剂和水,

所述三氯化铁含量为140~210g/L、二氯化铁含量为10~45g/L、氯酸钾含量为110~180g/L、重金属沉淀剂含量为8~14g/L、37%浓盐酸含量为3~5ml/L。

5.根据权利要求4所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述步骤S3和步骤S5的蚀刻温度控制在50±1℃。

6.根据权利要求4所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述蚀刻液还包括分散剂、调节剂、及络合剂,

分散剂含量为6~8g/L、调节剂含量为20~45g/L、络合剂含量为30~70g/L。

7.根据权利要求6所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述重金属沉淀剂为过硫酸钾,所述分散剂为聚醚分散剂,所述调节剂为柠檬酸钾,所述络合剂为羟基羧酸。

8.根据权利要求4所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述步骤S1中,钢片按照质量百分比包括:

Cr:16~18%;Ni:10~14%;Mo:2~3%;Mn:0.5~2%;Si:0~0.75%;C:0~0.03%;N:0~0.1%;P:0~0.045;S:0~0.03;余量为Fe及不可避免杂质。

9.根据权利要求6所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述钢片的HV为365~390,表面粗糙度Ra为0.15~0.1μm。

10.根据权利要求1所述无节点补强板双面蚀刻工艺,其特征在于:

所述步骤S4和步骤S7中的保护膜为PET保护膜和硅胶黏合膜的复合膜。

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