[发明专利]夹持装置及夹持装置的控制方法

权利要求书

1.一种夹持装置，其特征在于，所述夹持装置用于对基板进行夹持，其包括：

第一夹持组件，所述第一夹持组件包括多个第一夹具；

第二夹持组件，所述第二夹持组件包括多个第二夹具；

驱动件，分别与所述第一夹持组件和所述第二夹持组件连接；所述驱动件用于分别对所述第一夹具和所述第二夹具进行驱动；

控制单元，用于当所述第一夹具的夹持时长大于预设时长时，通过控制所述驱动件使所述第二夹具对所述基板进行夹持；和/或当所述第二夹具的夹持时长大于所述预设时长时，通过控制所述驱动件使所述第一夹具对所述基板进行夹持。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

当所述第一夹具夹持所述基板时，所述第一夹具在所述基板上具有第一位置；

当所述第二夹具夹持所述基板时，所述第二夹具在所述基板上具有第二位置；其中所述第一位置与所述第二位置不同。

3.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

所述第一夹具和与其相邻的第二夹具之间间隔设置。

4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

所述第一夹具的上表面设置有凸起；和/或

所述第二夹具的上表面设置有凸起，其中所述上表面覆盖在所述基板上。

5.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

所述第一夹具的上表面设置有凹槽；和/或

所述第二夹具的上表面设置有凹槽，其中所述上表面覆盖在所述基板上。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于，

所述第一夹具和所述第二夹具均具有夹持端，靠近所述夹持端侧的凹槽的密度大于远离所述夹持端侧的凹槽的密度。

7.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

所述第一夹具的夹持宽度或所述第二夹具的夹持宽度的范围为1mm-2mm，所述夹持宽度为所述第一夹具或所述第二夹具与所述基板抵接处的宽度。

8.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述第一夹具和/或所述第二夹具均包括：

底座，所述底座上设置有转轴；

夹壁，连接在所述转轴上，且所述夹壁可相对所述底座转动。

9.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

所述第一夹具的材料和第二夹具的材料均包括陶瓷、石英以及塑料中的至少一种。

10.一种夹持装置的控制方法，其特征在于，所述夹持装置用于对基板进行夹持，所述夹持装置包括：

第一夹持组件，所述第一夹持组件包括多个第一夹具；

第二夹持组件，所述第二夹持组件包括多个第二夹具；

驱动件，分别与所述第一夹持组件和所述第二夹持组件连接；所述驱动件用于分别对所述第一夹具和所述第二夹具进行驱动；其中所述方法包括：

选取所述第一夹持组件和所述第二夹持组件中的其中一个夹持组件作为工作夹持组件，另一个夹持组件作为空闲夹持组件；

控制所述工作夹持组件对所述基板进行夹持；

当检测到所述工作夹持组件的夹持时长大于预设时长时，控制所述空闲夹持组件对基板进行夹持，并解除所述工作夹持组件对所述基板的夹持。