[发明专利]一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机

权利要求书

1.一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，包括X轴单轴驱动器(1)、Y轴单轴驱动器(2)、旋转电机(3)、转盘(4)和晶圆台(5)，所述X轴单轴驱动器(1)固定连接于工作台(6)上，所述Y轴单轴驱动器(2)设于所述X轴单轴驱动器(1)上，且所述Y轴单轴驱动器(2)和所述X轴单轴驱动器(1)相互垂直，所述旋转电机(3)设于所述Y轴单轴驱动器(2)上，所述转盘(4)固定连接于所述旋转电机(3)上，所述转盘(4)包括上台板(41)、下台板(42)和弹性阻尼机构(43)，所述下台板(42)固定连接于所述旋转电机(3)上，所述上台板(41)和所述下台板(42)之间通过轴承(7)连接，所述弹性阻尼机构(43)位于所述上台板(41)和所述下台板(42)之间，所述晶圆台(5)为多个设于所述上台板(41)的顶面上，所述上台板(41)的上方设置有视觉补偿机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，所述上台板(41)和所述下台板(42)皆为圆饼状结构，所述轴承(7)的轴心、所述上台板(41)的轴心和所述下台板(42)的轴心重合。

3.根据权利要求2所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，所述上台板(41)的边缘设置有向下折弯的凸台(9)，所述凸台(9)为圆环状，且所述凸台(9)的内壁贴合至所述下台板(42)的外壁上。

4.根据权利要求1所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，所述弹性阻尼机构(43)包括弧形槽(431)、弹簧(432)和滑块(433)，所述弧形槽(431)开设于所述下台板(42)的顶面上，所述弹簧(432)设于所述弧形槽(431)内，所述滑块(433)设于所述上台板(41)的底面上，且所述滑块(433)滑动连接于所述弧形槽(431)内，所述弹簧(432)位于所述滑块(433)与所述弧形槽(431)的端部之间。

5.根据权利要求1所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，所述工作台(6)上设置有2个辅助滑台(10)，所述辅助滑台(10)与所述X轴单轴驱动器(1)平行，且所述辅助滑台(10)位于所述X轴单轴驱动器(1)的相对两侧，所述辅助滑台(10)的上端面贴合至所述Y轴单轴驱动器(2)上。

6.根据权利要求1所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，所述视觉补偿机构(8)包括支撑板(81)、梁板(82)、相机(83)和光源(84)，所述支撑板(81)固定连接于所述工作台(6)上，且所述支撑板(81)位于转台的一侧，所述梁板(82)通过调节旋钮(11)固定连接于所述支撑板(81)上，所述光源(84)固定连接于所述梁板(82)上，且所述光源(84)位于所述晶圆台(5)的正上方，所述光源(84)固定连接于所述相机(83)的端部上。

7.根据权利要求6所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，所述梁板(82)上开设有腰型孔(12)，所述调节旋钮(11)穿过所述腰型孔(12)连接所述支撑板(81)。

8.根据权利要求1所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其特征在于，所述晶圆台(5)沿所述上台板(41)的轴心呈等角度均匀排列布置。

9.一种装片机，其特征在于，还包括如权利要求1-8任一所述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置。