[发明专利]一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机

说明书

本发明提供了一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机，其包括X轴单轴驱动器、Y轴单轴驱动器、旋转电机、转盘和晶圆台，X轴单轴驱动器固定连接于工作台上，Y轴单轴驱动器设于X轴单轴驱动器上，且Y轴单轴驱动器和X轴单轴驱动器相互垂直，旋转电机设于Y轴单轴驱动器上，转盘固定连接于旋转电机上。本发明通过多方位调节和多工位同步工作设计，不仅使晶圆的方位调节在单工位完成，而且使得晶圆的矫正和上下料作业可以同步完成，大大地缩短了工作周期，提高了工作效率；通过分离式的转台设计，并经过弹性阻尼的缓冲作用，使得晶圆在快速矫正和的同时保持平稳不错位，装置稳定性高，加工精度高。

技术领域

本发明涉及半导体加工装置技术领域，具体而言，涉及一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机。

背景技术

装片机是半导体封装生产线中的关键设备，其在芯片封装中具有非常广泛的应用。随着技术的进步，装片机的装片精度正向着亚微米级发展，进而支撑起了目前业内所称的微组装技术。然而，在提高精度的同时，为了满足产能的需求，工业生产中还对装片机的装片效率提出了需求，晶圆贴片前需要对晶圆的位置进行调整，从而保证贴片加工的精度。

目前，晶圆在矫正时候通常是在两轴滑台上进行平面位置调整，然后转到旋转装置上进行周向调整，这使得晶圆在矫正工序浪费大量时间，导致加工效率低下，另外，晶圆在转料和矫正过程中容易出现晃动，从而影响后续加工的精度。

发明内容

鉴于此，本发明提供了一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机，其解决了现有技术中，晶圆的矫正过程步骤繁多导致效率低下、晶圆在转料过程中晃动导致后续加工精度低的问题。

为此，一方面，本发明提供了一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置，其包括X轴单轴驱动器、Y轴单轴驱动器、旋转电机、转盘和晶圆台，X轴单轴驱动器固定连接于工作台上，Y轴单轴驱动器设于X轴单轴驱动器上，且Y轴单轴驱动器和X轴单轴驱动器相互垂直，旋转电机设于Y轴单轴驱动器上，转盘固定连接于旋转电机上，转盘包括上台板、下台板和弹性阻尼机构，下台板固定连接于旋转电机上，上台板和下台板之间通过轴承连接，弹性阻尼机构位于上台板和下台板之间，晶圆台为多个设于上台板的顶面上，上台板的上方设置有视觉补偿机构。

进一步地，上述上台板和下台板皆为圆饼状结构，轴承的轴心、上台板的轴心和下台板的轴心重合。

进一步地，上述上台板的边缘设置有向下折弯的凸台，凸台为圆环状，且凸台的内壁贴合至下台板的外壁上。

进一步地，上述弹性阻尼机构包括弧形槽、弹簧和滑块，弧形槽开设于下台板的顶面上，弹簧设于弧形槽内，滑块设于上台板的底面上，且滑块滑动连接于弧形槽内，弹簧位于滑块与弧形槽的端部之间。

进一步地，上述工作台上设置有2个辅助滑台，辅助滑台与X轴单轴驱动器平行，且辅助滑台位于X轴单轴驱动器的相对两侧，辅助滑台的上端面贴合至Y轴单轴驱动器上。

进一步地，上述视觉补偿机构包括支撑板、梁板、相机和光源，支撑板固定连接于工作台上，且支撑板位于转台的一侧，梁板通过调节旋钮固定连接于支撑板上，光源固定连接于梁板上，且光源位于晶圆台的正上方，光源固定连接于相机的端部上。

进一步地，上述梁板上开设有腰型孔，调节旋钮穿过腰型孔连接支撑板。

进一步地，上述晶圆台沿上台板的轴心呈等角度均匀排列布置。

另一方面，一种装片机，包括装片机本体，还包括上述的一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置。