[发明专利]一种晶圆片的清洗装置在审

专利信息
申请号: 202011159689.4 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN112387668A 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 张栖源;张文君;汪念念;刘淼 申请(专利权)人: 江西点亮科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 335000 江西省鹰*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶圆片 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种晶圆片的清洗装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上一侧设有支柱(2),所述支柱(2)顶端固定连接固定板(3),所述固定板(3)底端设有固定箱(4),所述固定箱(4)远离支柱(2)一侧,所述固定板(3)上一侧固定连接竖管(5),所述竖管(5)一侧设有孔眼(6),所述竖管(5)顶端设有出水管(7),所述出水管(7)顶端活动连接喷头(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片的清洗装置,其特征在于:所述底座(1)、支柱(2)、固定板(3)和固定箱(4)组成一个水箱(9),所述水箱(9)内设有导流板(10),所述水箱(9)一侧设有泄水管(11),所述泄水管(11)在所述支柱(2)侧。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆片的清洗装置,其特征在于:所述固定板(3)由固定板本体和橡胶层组成,所述固定板本体顶端固定连接橡胶层,所述固定板(3)上设有泄水孔(12)。

4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆片的清洗装置,其特征在于:所所述固定箱(4)内设有电动伸缩装置(13),所述电动伸缩装置(13)伸缩端固定连接挡板(14),所述挡板(14)穿过固定箱(4)延伸至外,且在所述固定板(3)一侧,所述挡板(14)外侧设有橡胶层。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片的清洗装置,其特征在于:所述竖管(5)靠近孔眼(6)侧设有橡胶层。

6.根据权利要求1或5所述的一种晶圆片的清洗装置,其特征在于:所述竖管(5)一侧设有进水管(15)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片的清洗装置,其特征在于:所述喷头(8)末端为弧形。

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