[发明专利]一种晶圆片的清洗装置在审
| 申请号： | 202011159689.4 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112387668A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张栖源;张文君;汪念念;刘淼 | 申请（专利权）人： | 江西点亮科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 335000 江西省鹰*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 清洗 装置 | ||
1.一种晶圆片的清洗装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上一侧设有支柱（2），所述支柱（2）顶端固定连接固定板（3），所述固定板（3）底端设有固定箱（4），所述固定箱（4）远离支柱（2）一侧，所述固定板（3）上一侧固定连接竖管（5），所述竖管（5）一侧设有孔眼（6），所述竖管（5）顶端设有出水管（7），所述出水管（7）顶端活动连接喷头（8）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片的清洗装置，其特征在于：所述底座（1）、支柱（2）、固定板（3）和固定箱（4）组成一个水箱（9），所述水箱（9）内设有导流板（10），所述水箱（9）一侧设有泄水管（11），所述泄水管（11）在所述支柱（2）侧。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆片的清洗装置，其特征在于：所述固定板（3）由固定板本体和橡胶层组成，所述固定板本体顶端固定连接橡胶层，所述固定板（3）上设有泄水孔（12）。
4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆片的清洗装置，其特征在于：所所述固定箱（4）内设有电动伸缩装置（13），所述电动伸缩装置（13）伸缩端固定连接挡板（14），所述挡板（14）穿过固定箱（4）延伸至外，且在所述固定板（3）一侧，所述挡板（14）外侧设有橡胶层。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片的清洗装置，其特征在于：所述竖管（5）靠近孔眼（6）侧设有橡胶层。
6.根据权利要求1或5所述的一种晶圆片的清洗装置，其特征在于：所述竖管（5）一侧设有进水管（15）。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆片的清洗装置，其特征在于：所述喷头（8）末端为弧形。
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