[发明专利]一种晶圆片的清洗装置

说明书

本发明涉及晶圆片技术领域，尤其涉及一种晶圆片的清洗装置，一种晶圆片的清洗装置，包括底座，所述底座上一侧设有支柱，所述支柱顶端固定连接固定板，所述固定板底端设有固定箱，所述固定箱远离支柱一侧，所述固定板上一侧固定连接竖管，所述竖管一侧设有孔眼，所述竖管顶端设有出水管，所述出水管顶端活动连接喷头。能够有效地减少晶圆片表面过多的垃圾物，提高晶圆片表面清洁度。

技术领域

本发明涉及晶圆片技术领域，尤其涉及一种晶圆片的清洗装置。

背景技术

晶圆片作为LED的主要原材料，其表面残留的脏物颗粒过多，会严重影响到下道芯片制作的合格率。所以在晶圆片进行抛光工艺之前，首先必须保证晶圆片表面保持一定的清洁度，不至于有过多的垃圾物；所以必须事前对晶圆片进行清洗，为此提供一种晶圆片的清洗装置以保证晶圆片表面保持一定的清洁度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆片的清洗装置，以减少晶圆片表面不至于有过多的垃圾物，已保持晶圆片表面清洁度的技术方案。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种晶圆片的清洗装置，包括底座，所述底座上一侧设有支柱，所述支柱顶端固定连接固定板，所述固定板底端设有固定箱，所述固定箱远离支柱一侧，所述固定板上一侧固定连接竖管，所述竖管一侧设有孔眼，所述竖管顶端设有出水管，所述出水管顶端活动连接喷头。

进一步地，所述底座、支柱、固定板和固定箱组成一个水箱，所述水箱内设有导流板，所述水箱一侧设有泄水管，所述泄水管在所述支柱一侧，导流板能够给污水向进行倒流，使得污水能够更好从泄水管泄出。

进一步地，所述固定板由固定板本体和橡胶层组成，所述固定板本体顶端固定连接橡胶层，所述固定板上设有泄水孔，能够将喷淋到晶圆片上的水泄进水箱中。

进一步地，所所述固定箱内设有电动伸缩装置，所述电动伸缩装置伸缩端固定连接挡板，所述挡板穿过固定箱延伸至外，所述挡板在所述固定板一侧，所述挡板外侧设有橡胶层。

进一步地，所述竖管靠近孔眼侧设有橡胶层，橡胶层具有缓冲效果，保证晶圆片不被磕碰。

进一步地，所述竖管一侧设有进水管，使得外接水源能够进入装置内，实现对晶圆片的清洗。

进一步地，所述喷头末端为弧形，因喷头末端具有弧形能够保证晶圆片多个角度的清洗。

本发明具有如下有益效果：

1.通过竖管一侧设有孔眼，使得水能够从孔眼喷出，并对晶圆片侧表面进行冲洗，有效的去除晶圆片表面的垃圾。

2.通过出水管顶端活动连接喷头，能够有效的对晶圆片上端面进行冲洗，且喷头的末端设有弧度，能够对晶圆片的远离竖管一侧进行冲洗，实现晶圆片多方位的冲洗。

3.底座、支柱、固定板和固定箱组成一个水箱，通过固定板上设有泄水孔能够对晶圆片冲洗的污水进行收集。

4.固定箱内设有电动伸缩装置，电动伸缩装置伸缩端固定连接挡板，挡板穿过固定箱延伸至外，且挡板在所述固定板一侧，使得竖管，固定板和挡板形成一个冲洗腔，能够有效地对晶圆片进行清洗。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

图2为本发明作业时结构示意图。

图3为本发明A处结构放大图。

图中：1.底座、2.支柱、3.固定板、4.固定箱、5.竖管、6.孔眼、7.出水管、8.喷头、9.水箱、10.导流板、11.泄水管、12.泄水孔、13.电动伸缩装置、14.挡板、15.进水管、16.晶圆片。

具体实施方式