[发明专利]一种超洁净比例阀

权利要求书

1.一种超洁净比例阀，其特征在于：包括阀盖、阀座、阀芯和驱动组件；阀盖和阀座连接并合围形成内部的流室，流室具有与外部环境连通的进入流路和排出流路；流室内部设置阀芯，阀芯包括弹性部和阀芯头，弹性部连接于流室的壁面；阀芯头离开或封闭流室与进入流路或排出流路的结合面开口时，阀芯头与所述结合面开口接近并形成间隙，间隙为阀口；阀芯中设置阀芯永磁体，在阀盖和阀座的外部设置驱动组件，驱动组件包括控制磁体、导磁硅钢片，控制磁体与导磁硅钢片固定连接，控制磁体能够靠近或远离阀口移动；导磁硅钢片的一个端面与阀芯永磁体的一个磁极接近，导磁硅钢片与阀芯永磁体之间的间隙形成磁阻；磁感线穿过阀芯永磁体、导磁硅钢片以及控制磁体中形成一个闭合回路；当导磁硅钢片端面中心线与阀芯永磁体中心线重合时，达到最小磁阻。

2.如权利要求1所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述流室的壁面采用一种或多种含氟塑料任意组合。

3.如权利要求1所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述阀芯永磁体以注塑的方式内嵌于所述阀芯头。

4.如权利要求1所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述控制磁体所在位置的阀盖或阀座的径向尺寸小于阀芯永磁体所在位置的阀盖或阀座的径向尺寸。

5.如权利要求4所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述阀芯永磁体是条形磁铁。

6.如权利要求1所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述阀芯头堵塞流路时封闭流室与进入流路的结合面开口。

7.如权利要求1所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述阀芯头堵塞流路时封闭流室与排出流路的结合面开口。

8.如权利要求1所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述弹性部径向外侧均布地设置多个开口用于流体流过。

9.如权利要求6或7所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述的阀芯头用于封闭流路的端面是锥形面，锥形面的半锥角大于等于45°而小于等于75°。

10.如权利要求1所述的一种超洁净比例阀，其特征在于：所述控制磁体是电磁铁。