[发明专利]一种超洁净比例阀

说明书

本发明提供一种超洁净比例阀，具有超洁净流室，通过内嵌永磁体和外部控制永磁体的配合方式设置磁力驱动组件，利用最小磁阻原理实现启闭阀口，对阀口位置可以实现精确控制；本发明的磁力驱动组件作动距离小，缩短阀口的启闭时间，响应速度快；可以对阀芯施加两个方向的驱动力，避免依赖流体冲击力开启阀芯时存在的可靠度不佳的问题；磁场的磁感线形成闭合回路，对磁场外部空间的干扰小，也避免环境中的磁体对本发明的影响。

技术领域

本发明涉及阀技术领域，具体涉及一种适用于超洁净场合的比例阀。

背景技术

半导体、生物医药、电子级化工等领域对颗粒物等污染物十分敏感，对于生产工艺所需的液体或气体提出了非常高的洁净度要求，达到一定洁净度标准的材料或工艺称为超洁净材料或超洁净工艺。在需要超洁净流体或腐蚀性流体输控的领域，要求阀门须做到严格杜绝内部介质与外界相通，要安全可靠耐腐蚀，同时阀本身的启闭过程中不能产生磨损和颗粒物。而传统阀通常设置有类似阀杆这样的外部伸入控制件，这导致其原理上难以消除动密封点，在长期、多次的启闭过程中易产生外泄漏，甚至内部介质与外界相通，而发生外漏所导致的安全隐患、输送的流体受污染等后果代价十分巨大。此外，传统阀(如球阀、闸阀、蝶阀)因普遍存在滑动密封副，这些部件在长期密封动作过程中本身会产生磨损和颗粒脱落，导致介质被污染和密封不严。

申请号为CN201911054740.2的中国发明，提供一种永磁体内嵌式超洁净阀，其将封装有超洁净材料外壳的永磁体嵌入流室内部，而控制启闭的元件(如外置电磁铁、外置永磁体)置于流室之外，通过磁力这种非接触式的力来远程作用于永磁体阀芯以实现阀的启闭控制，消除了传统阀因设置阀杆等控制元件而存在的动密封点，在保证超洁净、耐腐蚀、无颗粒的前提下，从根本上杜绝了外泄漏的可能性；较现有隔膜阀、波纹管阀而言，解决了其弹性膜片寿命短、破裂后防护能力弱等问题，大幅提升了超洁净阀的使用寿命与安全性能；较现有的全密封超洁净单向阀而言，内嵌式永磁体阀芯的引入使之启闭可受外界的控制，能更好地满足不同超洁净流体输送的控制需要。但该发明还存在缺点：主要是一种开关阀，难以精确控制阀芯位置；切换阀口开闭时外部控制永磁体需要移动较长的距离，不利于快速作动；阀芯永磁体和外部控制永磁体的磁极位置固定，二者只能互相吸引或互相排斥，不能在阀芯开启和关闭的动作中都起到驱动作用，阀芯开闭的可靠性不佳；外部控制永磁体的磁场向阀体外部空间发散，可能会吸引环境中的铁磁物体，或者干扰其他装置的工作。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明提供一种超洁净比例阀，具有超洁净流室，通过磁力非接触地驱动阀芯实现启闭阀口；同时，本发明设置内嵌永磁体和外部控制永磁体的配合方式，利用最小磁阻原理，使阀芯位置被精确定位，实现超洁净阀的比例调节功能。

本发明包括阀盖、阀座、阀芯和驱动组件；阀盖和阀座连接并合围形成内部的流室，流室具有与外部环境连通的进入流路和排出流路；流室内部设置阀芯，阀芯包括弹性部和阀芯头，弹性部连接于流室的壁面，阀芯头、流室与进入流路或排出流路的结合面开口接近并形成间隙，间隙为阀口；阀芯中设置阀芯永磁体，在阀盖和阀座的外部设置驱动组件，驱动组件包括控制磁体、导磁硅钢片，控制磁体与导磁硅钢片固定连接，控制磁体能够靠近或远离阀口移动；磁感线穿过阀芯永磁体、导磁硅钢片以及控制磁体中形成一个闭合回路。

作为优选，所述流室的壁面采用一种或多种含氟塑料任意组合。

作为优选，所述阀芯永磁体以注塑的方式内嵌于所述阀芯头。

进一步的，所述控制磁体所在位置的阀盖或阀座的径向尺寸小于阀芯永磁体所在位置的阀盖或阀座的径向尺寸。

作为优选，所述阀芯永磁体是条形磁铁。

进一步的所述阀芯头堵塞流路时封闭流室与进入流路的结合面开口。所述阀芯头堵塞流路时封闭流室与排出流路的结合面开口。

进一步的，所述弹性部径向外侧均布地设置多个开口用于流体流过。