[发明专利]掩膜板及显示面板的制备方法在审
申请号: | 202011165002.8 | 申请日: | 2020-10-27 |
公开(公告)号: | CN112359317A | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 宋阳;李存智;张凯;郭钟旭 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 张筱宁;宋海斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 显示 面板 制备 方法 | ||
本申请实施例提供了一种掩膜板及显示面板的制备方法。该掩膜板,包括:基础部、第一部和至少一个开口区;第一部位于开口区周围;基础部包围第一部,基础部的厚度大于第一部的厚度;厚度为沿第一方向的尺寸,第一方向为垂直于显示面板的基板的方向;第一部的一侧设有第一磁性部,第一磁性部在设计磁场作用下带动第一部翘曲。本申请实施例能够减少或避免蒸镀阴影,缩减显示面板的边框尺寸,也可以避免由于蒸镀阴影而带来的封装失效的问题,提高显示面板的良率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体而言,本申请涉及一种掩膜板及显示面板的制备方法。
背景技术
由于OLED(Organic Light Emission Display,有机发光二极管)的诸多优点,其逐步取代LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)成为趋势,OLED市场份额也在逐步扩大。随着人们对手机屏幕大小的需求日益增长,在已有的手机尺寸中,如何扩大屏幕的占比,如何将边框窄化成为了当前研究的主要方向。
在OLED显示面板制造中,真空蒸镀是关键步骤,这一过程中主要用到开口掩膜Open Mask和FMM(Fine-Metal-MASK,精细金属掩膜板),采用现有掩膜板进行蒸镀会带来蒸镀阴影Shadow,考虑到蒸镀阴影的问题,会在边框参数设计的时候为膜层的距离留一些留白Margin,这样就会导致显示面板的边框缩减困难的问题。
因此,设计一种减少蒸镀阴影的掩膜板,用于窄边框显示面板的制备具有较大意义。
发明内容
本申请针对现有方式的缺点,提出一种掩膜板及显示面板的制备方法,用以解决现有技术存在用现有掩膜板进行蒸镀带来的蒸镀阴影,使得显示面板的边框缩减困难的技术问题。
第一方面,本申请实施例提供一种掩膜板,包括:基础部、第一部和至少一个开口区;
第一部位于开口区周围;
基础部包围第一部,基础部的厚度大于第一部的厚度;厚度为沿第一方向的尺寸,第一方向为垂直于显示面板的基板的方向;
第一部的一侧设有第一磁性部,第一磁性部在设计磁场作用下带动第一部翘曲。
在一个可能的实现方式中,第一磁性部为涂覆在第一部一侧的一层磁性层。
在一个可能的实现方式中,磁性层全部覆盖第一部的一侧表面。
在一个可能的实现方式中,磁性层覆盖第一部的表面的面积小于第一部的一侧表面的面积。
在一个可能的实现方式中,掩膜板还包括以下至少一项:
第一部和第一磁性部在第一方向的厚度之和与基础部在第一方向的厚度呈第一预设比例;
第一磁性部和第一部在第一方向的厚度呈第二预设比例;
基础部在第一方向的厚度为50微米~200微米;
第一部在第一方向的厚度为25微米~100微米;
第一磁性部在第一方向的厚度为10微米~20微米。
在一个可能的实现方式中,基础部的一侧面和第一部的一侧面齐平。
在一个可能的实现方式中,第一部和基础部为一体成型结构;
第一部和基础部均由磁性材质制备而成;
第一部和基础部的磁性均小于第一磁性部的磁性。
在一个可能的实现方式中,第一磁性部采用涂覆、离子溅射或电铸的方式沉积而成。
第二方面,本申请实施例还提供一种显示面板的制备方法,包括:
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