[发明专利]测定用探测器以及形状测定装置

权利要求书

1.一种测定用探测器，通过扫描测定物的表面来对所述测定物的表面的三维形状等进行测定，

所述测定用探测器具备：

第1可动部，具有触针；

第2可动部，以能够在Z方向上移动的方式与所述第1可动部连结；

第3可动部，在内部设置有容纳所述第2可动部的空间，以能够在所述Z方向上移动的方式与所述第2可动部连结；

第1位置测定部，对所述第1可动部在所述Z方向上的第1位置进行测定；

第2位置测定部，对所述第2可动部在所述Z方向上的第2位置进行测定；和

第3位置测定部，对所述第3可动部在所述Z方向上的第3位置进行测定，

第1相对位置基于所述第1位置和所述第2位置来计算，

第2相对位置基于所述第1位置和所述第3位置来计算，

所述第2可动部相对于所述第1可动部的所述Z方向上的所述第1相对位置和所述第3可动部相对于所述第1可动部的所述Z方向上的所述第2相对位置被维持为固定。

2.根据权利要求1所述的测定用探测器，其中，还具备：

第1弹簧，将所述第1可动部和所述第2可动部连结；和

第2弹簧，将所述第2可动部和所述第3可动部连结。

3.根据权利要求1或2所述的测定用探测器，其中，

所述第2可动部的质量为所述第3可动部的质量的1/100以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的测定用探测器，其中，

所述第1位置测定部、所述第2位置测定部以及所述第3位置测定部设置于在所述测定用探测器的内部划分出的空间。

5.根据权利要求4所述的测定用探测器，其中，

所述第1位置测定部包含第1光源，

所述第2位置测定部包含第2光源，

所述第3位置测定部包含第3光源，

所述第1光源、所述第2光源以及所述第3光源分别被配置为与所述Z方向平行地发射光。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的测定用探测器，其中，

所述测定用探测器将所述第1相对位置和所述第2相对位置重置为预先存储的给定位置。

7.一种形状测定装置，具备权利要求1至6中任一项所述的测定用探测器。