[发明专利]测定用探测器以及形状测定装置

说明书

本公开提供一种测定用探测器以及形状测定装置，测定用探测器通过扫描测定物的表面来对测定物表面的三维形状等进行测定，具备：第1可动部，具有触针；第2可动部，能够在Z方向上移动地与第1可动部连结；第3可动部，能够在Z方向上移动地与第2可动部连结；第1位置测定部，测定第1可动部在Z方向上的第1位置；第2位置测定部，测定第2可动部在Z方向上的第2位置；第3位置测定部，测定第3可动部在Z方向上的第3位置，第1相对位置基于第1位置和第2位置来计算，第2相对位置基于第1位置和第3位置来计算，第2可动部相对于第1可动部的Z方向上的第1相对位置和第3可动部相对于第1可动部的Z方向上的第2相对位置被维持为固定。

技术领域

本公开涉及对测定物进行扫描测定的形状测定装置的测定用探测器。

背景技术

随着近年来的光电技术的进步，数字广播从4K向8K的高清化得到发展。其结果是，在数字相机等中或者在使用于智能手机等移动设备的相机中，要求提高画质。关于使用于这些相机等的透镜的表面形状，要求相对于设计形状的误差例如为0.03μm(30nm)以下，向高精度透镜的需求不断提高。

其中，关于对透镜的表面形状进行高精度的测定的形状测定装置，向更高精度的测定的需求也进一步提高。因此，提出了一种利用专利文献1所记载的探测器进行测定的测定方法。

此外，如专利文献2那样，还提出了一种对两个计测部件的信号数据进行加减运算来获得测定位置的方法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3000819号公报

专利文献2：日本特开昭61-200419号公报

发明内容

本公开的一方式涉及的测定用探测器，通过扫描测定物的表面来对所述测定物的表面的三维形状等进行测定，

所述测定用探测器具备：

第1可动部，具有触针；

第2可动部，以能够在Z方向上移动的方式与所述第1可动部连结；

第3可动部，在内部设置有容纳所述第2可动部的空间，以能够在所述Z方向上移动的方式与所述第2可动部连结；

第1位置测定部，对所述第1可动部在所述Z方向上的第1位置进行测定；

第2位置测定部，对所述第2可动部在所述Z方向上的第2位置进行测定；和

第3位置测定部，对所述第3可动部在所述Z方向上的第3位置进行测定，

第1相对位置基于所述第1位置和所述第2位置来计算，

第2相对位置基于所述第1位置和所述第3位置来计算，

所述第2可动部相对于所述第1可动部的所述Z方向上的所述第1相对位置和所述第3可动部相对于所述第1可动部的所述Z方向上的所述第2相对位置被维持为固定。

附图说明

图1是具备本公开的实施方式1涉及的测定用探测器的形状测定装置的整体结构图。

图2是示出图1的形状测定装置的概略结构的框图。

图3是搭载于图1的形状测定装置的测定用探测器的示意图。

图4是示出搭载于图1的形状测定装置的测定用探测器的概略结构的图。

图5是测定用探测器在Z方向上下降时的图。

图6是图4的测定用探测器在Z方向上上升时的图。

图7是示出基于15mgf的测定力的测定结果的曲线图。