[发明专利]光刻机硅片台移动装置

权利要求书

1.光刻机硅片台移动装置，包括支撑平台(1)，其特征在于：所述支撑平台(1)的下表面固定安装有辅助支撑腿(2)，所述支撑平台(1)的上表面固定安装有第一支撑板(3)，所述第一支撑板(3)的上表面开设有第一条形槽，所述第一条形槽的内壁转动连接有第一滚轴(4)，所述第一滚轴(4)的表面搭接有硅片台(5)，所述硅片台(5)的上表面开设有放置槽(6)，所述放置槽(6)的内底壁开设有沉孔，所述沉孔的内壁固定安装有吸管(7)，所述第一支撑板(3)的上表面通过螺栓固定安装有第二支撑板(8)，所述第二支撑板(8)的截面为L型结构，所述第二支撑板(8)的上表面分别开设有螺纹孔和通孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有调节螺纹杆(9)，所述通孔的内壁滑动连接有限位杆(10)，所述调节螺纹杆(9)的下端转动连接有压板(11)，所述压板(11)的下表面开设有第二条形槽，所述第二条形槽的内壁转动连接有第二滚轴(12)，所述支撑平台(1)的左右两侧面均固定安装有挡板(13)，两个所述挡板(13)的相对面均固定安装有滚珠轴承(14)，两个所述滚珠轴承(14)的内环面固定连接有丝杠(15)，左侧所述挡板(13)的左侧固定安装有电机安装座，所述电机安装座的上表面通过螺栓固定安装有伺服电机(16)。

2.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述放置槽(6)的内底壁开设有吸附槽，所述吸附槽的数量为若干个，若干个所述吸附槽呈放射状设置在放置槽(6)的内底壁，所述吸管(7)的表面固定安装有电磁阀，所述吸管(7)的下端与外部光刻机的气泵相连接。

3.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述辅助支撑腿(2)的数量为四个，四个所述辅助支撑腿(2)呈矩形阵列设置在支撑平台(1)下表面的四角，四个所述辅助支撑腿(2)的下端均螺纹连接有螺纹柱(17)，四个所述螺纹柱(17)的下端均转动连接有缓冲支撑垫(18)，四个所述螺纹柱(17)的表面均固定连接有调节六角块。

4.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述第一支撑板(3)的数量为两个，两个所述第一支撑板(3)对称设置在支撑平台(1)的上表面，所述第一滚轴(4)的数量为若干个，若干个所述第一滚轴(4)分为两组，两组所述第一滚轴(4)分别呈线性阵列设置在两个第一支撑板(3)的上表面。

5.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述第二支撑板(8)和压板(11)的数量均为两个，两个所述第二支撑板(8)分别设置在两个第一支撑板(3)的上表面，两个所述第二支撑板(8)的相对面均开设有梯形槽，两个所述压板(11)的相向面均固定连接有与梯形槽相适配的滑块。

6.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述限位杆(10)的数量为四个，每两个限位杆(10)为一组，两组所述限位杆(10)分别设置在两个第二支撑板(8)的上表面，同组两个所述限位杆(10)对称设置在调节螺纹杆(9)的两侧，两组所述限位杆(10)的下端分别与两个压板(11)的上表面固定连接。

7.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述硅片台(5)的侧面开设有内螺纹孔，所述丝杠(15)的表面与内螺纹孔的内壁螺纹连接，所述丝杠(15)的左端与伺服电机(16)的输出端固定连接，所述伺服电机(16)与外部光刻机的控制系统电性连接。

8.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述调节螺纹杆(9)的数量为两个，两个所述调节螺纹杆(9)分别与两个压板(11)的上表面转动连接，两个所述调节螺纹杆(9)的上端均固定安装有把手，两个所述把手的表面均固定连接有防滑橡胶套。

9.根据权利要求1所述的光刻机硅片台移动装置，其特征在于：所述第二滚轴(12)的数量为若干个，若干所述第二滚轴(12)分为两组，两组所述第二滚轴(12)分别呈线性阵列设置在两个压板(11)的下表面，所述硅片台(5)的上表面与第二滚轴(12)的表面搭接。