[发明专利]一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法在审

专利信息
申请号: 202011169894.9 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN112277493A 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 段连威;彭大松;王晓东;韩帅帅;李文文 申请(专利权)人: 中科传感技术(青岛)研究院
主分类号: B41M1/12 分类号: B41M1/12;B41M1/22;B41M1/30;B41M1/34;B41M5/382;B41M7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266109 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 多层 压电 陶瓷 底面 电极 方法
【权利要求书】:

1.一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于先将电极图案印刷到带有硅油的有机薄膜上,通过热压工艺将电极图案完美的转印到多层压电陶瓷背面:所述制备方法包括如下步骤:

步骤一、将电极图案丝网印刷到带有硅油的有机膜上(PET/PEN),有机膜的厚度在50-100μm;

步骤二、将印刷电极图案的有机膜放在烘箱中烘干,烘干温度60-70℃,烘干时间5-8min;

步骤三、将烘干好的有机膜通过叠片机贴合到多层压电陶片上;

步骤四、将贴合好的样片进行热压,热压温度50-60℃,热压压力2000-2500psi,热压时间30-40s;

步骤五、热压好后将有机膜揭下即可;

步骤六、将转印好的多层压电陶瓷片放在烘箱中进行烘干,烘干温度60-70℃,烘干时间8-10min。

2.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所述多层压电陶瓷片,为使用单层厚度35μm,叠压5-100层的多层压电陶瓷片制作而成。

3.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所述压电陶片为三电极结构。

4.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所用银浆的粘度5000-5500mpa·s。

5.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所述丝网印刷银浆的湿膜厚度在5-10μm。

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