[发明专利]一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法在审
申请号: | 202011169894.9 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN112277493A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 段连威;彭大松;王晓东;韩帅帅;李文文 | 申请(专利权)人: | 中科传感技术(青岛)研究院 |
主分类号: | B41M1/12 | 分类号: | B41M1/12;B41M1/22;B41M1/30;B41M1/34;B41M5/382;B41M7/00 |
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地址: | 266109 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多层 压电 陶瓷 底面 电极 方法 | ||
1.一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于先将电极图案印刷到带有硅油的有机薄膜上,通过热压工艺将电极图案完美的转印到多层压电陶瓷背面:所述制备方法包括如下步骤:
步骤一、将电极图案丝网印刷到带有硅油的有机膜上(PET/PEN),有机膜的厚度在50-100μm;
步骤二、将印刷电极图案的有机膜放在烘箱中烘干,烘干温度60-70℃,烘干时间5-8min;
步骤三、将烘干好的有机膜通过叠片机贴合到多层压电陶片上;
步骤四、将贴合好的样片进行热压,热压温度50-60℃,热压压力2000-2500psi,热压时间30-40s;
步骤五、热压好后将有机膜揭下即可;
步骤六、将转印好的多层压电陶瓷片放在烘箱中进行烘干,烘干温度60-70℃,烘干时间8-10min。
2.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所述多层压电陶瓷片,为使用单层厚度35μm,叠压5-100层的多层压电陶瓷片制作而成。
3.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所述压电陶片为三电极结构。
4.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所用银浆的粘度5000-5500mpa·s。
5.根据权利要求1多层压电陶瓷片底面电极转印方法,其特征在于:所述丝网印刷银浆的湿膜厚度在5-10μm。
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