[发明专利]一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法

说明书

本发明专利公布一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法，发明专利涉及一种多层压电陶瓷的制备方法，该方法通过将多层压电陶瓷底面电极图案丝网印刷到有机膜上，通过热压工艺将电极图案从有机膜上转印到多层压电陶瓷上。依照此工艺转印的底面电极与表面电极对称且完整。

技术领域

本发明涉及压电陶瓷片的制备领域，尤其涉及多层压电陶瓷的制备工艺。

背景技术

过去几十年，压电陶瓷具有良好的压电性能（较高的位移，较快的响应速度，较低的功耗和较高的驱动力），一直被广泛用于传感器、驱动器件上，随着MEMS技术的发展，电子元器件朝着微型化、小型化和集成化方向发展。厚度在10-100μm的压电片兼顾了块体材料高驱动力、宽工作频率，薄膜材料、低工作电压、集成性好的优势，被广泛应用于电子行业。

在进行叠层工艺时，作为最后一个叠层的多层压电陶瓷片背面是无法提前丝网印刷电极。对于一些电极图案，可在叠层完成后通过丝网印刷的方式完成印刷，但这种印刷方式电极跟多层压电陶瓷片之间没有进行热压工艺，电极与多层压电陶瓷片的结合力较小，在排胶和烧结过程中容易脱落。对于非对称的电极图案就需要重新制作网版，增加制作成本。

（一）解决的技术问题

本专利通过将电极图案丝网印刷到有机膜上后，再利用热压工艺将电极图案从有机膜上转印到多层压电陶瓷片底面上，不需要重新制作网版节省制作成本，同时这种方式底面电极跟多层压电陶瓷片的结合力良好，在排胶和烧结时不会产生脱落。

（二）技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法，具体包括以下步骤：

步骤一、将电极图案丝网印刷到带有硅油的有机膜上（PET/PEN），有机膜的厚度在50-100μm；

步骤二、将印刷电极图案的有机膜放在烘箱中烘干，烘干温度60-70℃，烘干时间5-8min；

步骤三、将烘干好的有机膜通过叠片机贴合到多层压电陶片上；

步骤四、将贴合好的样片进行热压，热压温度50-60℃，热压压力2000-2500psi，热压时间30-40s；

步骤五、热压好后将有机膜揭下即可；

步骤六、将转印好的多层压电陶瓷片放在烘箱中进行烘干，烘干温度60-70℃，烘干时间8-10min。

优选的所述多层压电陶瓷片，为使用单层厚度35μm，叠压5-100层的多层压电陶瓷片制作而成。

优选的所述压电陶片为三电极结构。

优选的所用银浆的粘度5000-5500mpa·s。

优选的所述丝网印刷银浆的湿膜厚度在5-10μm。

（三）有益效果

本专利将电极图案丝网印刷到有机膜上，通过热压工艺将电极图案从有机膜上转印到多层压电陶瓷上，使用的有机膜为经过叠层后从多层压电陶瓷片上取下的，即做到了材料的二次利用又节省了制作网版的成本。

具体实施方式

所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得所有其他实施例，都属于本发明保护范围。

本发明实施例提供一种技术方案：一种多层压电陶瓷片底面电极转印方法，具体包括以下步骤：

步骤一、将电极图案丝网印刷到带有硅油的PEN膜上，膜带厚度50μm，印刷银浆湿膜厚度8μm，银浆粘度5500mpa·s；