[发明专利]层叠装置和层叠体的制造方法

权利要求书

1.一种层叠装置，将在绝缘膜上层叠有金属层的片材进行多层层叠，其中，所述层叠装置包括：

层叠台，供所述片材层叠；

输送保持件，通过真空吸附保持所述片材并将其输送至所述层叠台；以及

保持件用带电器，朝向由所述输送保持件保持的所述片材照射带电粒子，

所述保持件用带电器随着输送中的所述片材的所述绝缘膜越薄而照射越高电压的带电粒子。

2.根据权利要求1所述的层叠装置，其中，

所述层叠装置包括载物台用带电器，所述载物台用带电器朝向层叠在所述层叠台上的多层所述片材中最上层的所述片材的暴露表面照射带电粒子，

所述保持件用带电器和所述载物台用带电器照射彼此相等电压的带电粒子。

3.一种层叠装置，将在绝缘膜上层叠有金属层的片材进行多层层叠，其中，所述层叠装置包括：

层叠台，供所述片材层叠；

输送保持件，通过真空吸附保持所述片材并将其输送至所述层叠台；

保持件用带电器，朝向由所述输送保持件保持的所述片材照射带电粒子；以及

摄像器，拍摄由所述输送保持件保持的所述片材的表面形状，

所述保持件用带电器对所述片材的浮起部分，照射电压比与所述保持表面密接的所述片材的密接部分高的带电粒子，所述片材的浮起部分基于由所述摄像器拍摄的所述片材的表面形状而确定且与所述输送保持件的保持表面分离。

4.根据权利要求3所述的层叠装置，其中，

照射到所述片材的所述浮起部分的带电粒子随着所述片材的绝缘膜越薄而被设定为越高电压。

5.根据权利要求3或4所述的层叠装置，其中，

所述保持件用带电器在比所述输送保持件所保持的所述片材的暴露表面小的区域，确定所述暴露表面上的带电粒子的照射点，

所述保持件用带电器仅在所述照射点的至少一部分与由所述输送保持件保持的所述片材的所述浮起部分重叠时照射带电粒子。

6.根据权利要求1所述的层叠装置，包括：

对准台，载置由所述输送保持件保持之前的所述片材，并且对所载置的所述片材进行对位；以及

加压部件，进一步载置在由所述对准台载置的所述片材上，对该片材的整个表面加压，

所述对准台的片材载置区域的至少一部分由透光性部件构成，

设置通过所述透光性部件拍摄载置于所述对准台的所述片材的对准相机，

所述对准相机对由所述加压部件压靠到所述对准台的所述片材进行拍摄。

7.一种层叠体的制造方法，用于制造包括多层在绝缘膜上层叠有金属层的片材的层叠体，其中，所述层叠体的制造方法包括：

层叠步骤，通过真空吸附由输送保持件保持所述片材并输送至层叠台，在所述层叠台上依次层叠所述片材；以及

压接步骤，压接层叠在所述层叠台上的所述片材的层叠体并固定各层，

在所述层叠步骤中，随着所述片材的绝缘膜变薄，对由所述输送保持件保持的输送中的所述片材照射较高电压的带电粒子。

8.根据权利要求7所述的层叠体的制造方法，其中，

在所述层叠步骤中，朝向由所述输送保持件保持的输送中的所述片材，和层叠在所述层叠台上的多层所述片材中最上层的所述片材的暴露表面，照射彼此相等电压的带电粒子。

9.一种层叠体的制造方法，用于制造包括多层在绝缘膜上层叠有金属层的片材的层叠体，其中，所述层叠体的制造方法包括：

层叠步骤，通过真空吸附由输送保持件保持所述片材并输送至层叠台，在该层叠台上依次层叠所述片材；以及

压接步骤，压接层叠在所述层叠台上的所述片材的层叠体并固定各层，

在所述层叠步骤中，对所述片材的浮起部分，照射电压比与所述保持表面密接的所述片材的密接部分高的带电粒子，所述片材的浮起部分基于所述输送保持件保持的所述片材的表面形状而确定且与所述输送保持件的保持表面分离。

10.根据权利要求9所述的层叠体的制造方法，其中，

所述片材的绝缘膜越薄，则照射到所述片材的浮起部分的带电粒子的电压越高。