[发明专利]层叠装置和层叠体的制造方法

说明书

本发明提供能够在消除片材的翘曲或挠曲的基础上层叠该片材的层叠装置和层叠体的制造方法。层叠用输送保持件(60)通过真空吸附保持在绝缘膜(106)上层叠有金属层(104)的片(L1～L5)，并将其输送至层叠台(80)。保持件用带电器(70)朝向由层叠用输送保持件(60)保持的片材(L1～L5)照射带电粒子。保持件用带电器(60)随着输送中的片材(L1～L5)的绝缘膜(106)越薄而照射越高电压的带电粒子。

技术领域

本发明涉及层叠装置和层叠体的制造方法。

背景技术

作为安装在通信设备等中的电路基板，例如专利文献1、2所公开的那样，使用通过将在绝缘膜上形成有金属层的片材层叠而形成的层叠体。

在层叠体的制造过程中，通过保持件将片材逐层地输送至层叠台。例如，在由保持件输送片材之前进行片材的位置对准，并且将位置对准之后的片材层叠在层叠台上。通过进行位置对准，抑制层间的位置偏移。进而，加热层叠体并进行从上下端压缩层叠体的压接，由此固定各层。

【现有技术文献】

【专利文献】

专利文献1：国际公开第2017/150678号

专利文献2：日本特开2018-170521号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，基于绝缘片和金属层的伴随温度变化的膨胀率和收缩率之差，片材有时产生翘曲或挠曲。当将具有存在翘曲或挠曲的片材的层叠体压接时，在该过程中片材的翘曲和挠曲消除，但在翘曲和挠曲的消除过程中，片材的位置有可能偏移。

因此，本发明的目的在于，提供能够在消除片材的翘曲或挠曲的基础上层叠该片材的层叠装置和层叠体的制造方法。

用于解决技术问题的方案

本发明涉及一种层叠装置，其将在绝缘膜上层叠有金属层的片材进行多层层叠。该层叠装置包括层叠台、输送保持件及保持件用带电器。片材层叠在层叠台上。输送保持件通过真空吸附保持片材并将其输送至层叠台。保持件用带电器朝向由输送保持件保持的片材照射带电粒子。保持件用带电器随着输送中的片材的绝缘膜越薄而照射越高电压的带电粒子。

根据上述结构，通过对输送中的片材照射带电粒子，该片材被静电吸附到输送保持件上，并且在该过程中消除了翘曲和挠曲。在此，随着片材的绝缘膜越薄，该膜的表面弹性模量越低，并且因与金属层的膨胀率差和收缩率差而导致的翘曲量和挠曲量增加。因此，在本发明中，输送中的片材的绝缘膜越薄，则照射的带电粒子的电压越高。这样，根据绝缘膜的厚度来调节带电粒子的电压，由此高精度地消除片材的翘曲和挠曲。

另外，在上述结构中，可以设置朝向层叠在层叠台上的多层片材中最上层片材的暴露表面照射带电粒子的载物台用带电器。在这种情况下，保持件用带电器和载物台用带电器照射彼此相等电压的带电粒子。

根据上述结构，对真空吸附于输送保持件的片材照射带电粒子，并且对层叠于层叠台上的多层片材中最上层片材的暴露表面也照射带电粒子。通过使两者的带电粒子的电压相等，从而使将片材吸附于输送保持件的静电吸附力和将被输送的片材吸附于层叠台上的最上层片材的静电吸附力一致。由此，例如能够以不因静电吸附而阻碍由正压空气吹出引起的片材从输送保持件脱离的范围内的最大电压，消除片材的翘曲和挠曲。

另外，本发明涉及一种层叠装置，其将在绝缘膜上层叠有金属层的片材进行多层层叠。该层叠装置包括层叠台、输送保持件、保持件用带电器及摄像器。片材层叠在层叠台上。输送保持件通过真空吸附保持片材并将其输送至层叠台。保持件用带电器朝向由输送保持件保持的片材照射带电粒子。摄像器拍摄由输送保持件保持的片材的表面形状。保持件用带电器对片材的浮起部分，照射电压比与保持表面密接的片材的密接部分高的带电粒子，该片材的浮起部分基于由摄像器拍摄的片材的表面形状而确定且与输送保持件的保持表面分离。