[发明专利]废气处理装置及半导体设备

说明书

本发明提供一种废气处理装置及半导体设备，废气处理装置包括处理腔体、过滤组件、支撑组件和抽气部件，支撑组件设置在处理腔体中，将处理腔体的内部空间分为第一处理腔和第二处理腔；支撑组件上设有供废气通过的通气结构，废气通过抽气部件从第一处理腔经过通气结构向第二处理腔流动；处理腔体上设置有进气结构和排气结构，进气结构与第一处理腔连通，排气结构与第二处理腔连通；过滤组件设于支撑组件上且位于第二处理腔中，包括多个相互堆叠的固体填料，固体填料用于对由废气产生的污染物进行过滤。本发明提供的废气处理装置及半导体设备能够降低过滤组件更换的频率，从而能够降低废气处理装置的使用成本，并提高半导体设备的使用效率。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种废气处理装置及半导体设备。

背景技术

扩散炉是太阳能光伏行业中重要的生产设备，其主要作用是进行扩散工艺，形成太阳能电池片中关键的PN结(PN junction)。扩散炉在进行扩散工艺之后，反应腔室内会产生大量高温废气，这些废气一般会经过排气管路排出，但是，由于排气管路的温度比废气的温度低很多，因此，废气中的某些物质会在排气管路中冷凝形成液体，而液体还可能进一步凝固形成固体粉末，并且，废气中的某些物质甚至会在排气管路中凝华直接形成固体粉末，而这些固体粉末会堵塞排气管路，导致废气无法顺利排出，对扩散炉的正常生产造成很大影响。

因此现在通常会设置废气处理装置，在废气排出的同时对废气进行处理，以避免废气形成的固体粉末堵塞排气管路。具体的，如图1所示，现有的废气处理装置包括废气管路11、过滤腔体12、无纺布滤芯13、外接管路14和隔膜泵15，其中，废气管路11与反应腔室连通，且废气管路11较短，过滤腔体12分别与废气管路11和外接管路14连通，无纺布滤芯13设置在过滤腔体12中，隔膜泵15设置在外接管路14上。在废气排出的过程中，废气被隔膜泵15抽出经过废气管路11进入过滤腔体12，在经过过滤腔体12中的无纺布滤芯13的过滤后进入外接管路14，最后经过外接管路14排出，在该过程中，由于废气管路11较短，因此废气在废气管路11形成的固体粉末较少，而废气在过滤腔体12中形成的固体粉末会被无纺布滤芯13过滤，从而避免废气形成的固体粉末进入外接管路14，进而避免废气形成的固体粉末对由废气管路11和外接管路14构成的排气管路造成堵塞。

但是，废气在过滤腔体12中形成的固体粉末会堵塞无纺布滤芯13，使废气无法顺畅的通过无纺布滤芯13排出，这就需要在无纺布滤芯13使用一段时间后对其及时进行更换，从而导致对扩散炉的正常生产造成很大影响，并且增加了废气处理装置的使用成本。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种废气处理装置及半导体设备，其能够降低过滤组件更换的频率，从而能够降低废气处理装置的使用成本，并提高半导体设备的使用效率。

为实现本发明的目的而提供一种废气处理装置，包括处理腔体、过滤组件、支撑组件和抽气部件，其中，

所述支撑组件设置在所述处理腔体中，所述支撑组件将所述处理腔体的内部空间分为第一处理腔和第二处理腔；所述支撑组件上设有供废气通过的通气结构，所述废气通过所述抽气部件从所述第一处理腔经过所述通气结构向所述第二处理腔流动；

所述处理腔体上设置有进气结构和排气结构，所述进气结构与所述第一处理腔连通，所述排气结构与所述第二处理腔连通；

所述过滤组件设置于所述支撑组件上且位于所述第二处理腔中，所述过滤组件包括多个相互堆叠的固体填料，所述固体填料用于对由废气产生的污染物进行过滤。

优选的，所述固体填料包括拉西环和/或鲍尔环。

优选的，所述拉西环的外径为6mm-10mm。

优选的，所述支撑组件包括匀流板，所述匀流板上设有多个通气孔，多个所述通气孔构成所述通气结构。