[发明专利]掩膜板与掩膜板组件

说明书

本公开提供了一种掩膜板与掩膜板组件，该掩膜板包括：刻蚀区、焊接区、开孔区以及无刻蚀区。刻蚀区，包括相背的第一端与第二端；焊接区，位于所述刻蚀区的所述第一端与所述第二端；开孔区，至少形成于所述刻蚀区的第一端或第二端，且位于所述焊接区背离所述刻蚀区的一侧，所述开孔区包括多个第一开孔；无刻蚀区，位于所述刻蚀区的所述第一端与所述第二端，且位于所述开孔区背离所述刻蚀区的一侧。本公开提供的掩膜板，改善了刻蚀区的褶皱情况，减少了出现蒸镀阴影及混色的情况。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，具体而言，具体涉及一种掩膜板与掩膜板组件。

背景技术

由于OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光)显示面板相对于LCD面板具有自发光、构件少、成本低、反应速度快、广视角、色饱和度高、对比度高、轻薄可卷曲等优点，因此越来越多的智能手机以及可穿戴设备，逐渐采用OLED显示面板。

蒸镀是OLED显示面板制备过程中非常重要的工序，在蒸镀有机发光层时，需要使用精密金属掩膜板(FMM，fine metal mask)，让RGB有机材料在指定位置精确蒸镀形成像素，从而提高面板分辨率与制程良率。因此，对于FMM的厚度与孔洞大小、FMM与基板对位精度、FMM的张网精度等均具有高度要求。

然而，FMM由于其类似薄板的力学结构，在拉伸过程中，由于蚀刻区域与非蚀刻区域存在泊松比差异，而产生横向应力，这种横向应力会使薄板结构失稳，产生褶皱，造成蒸镀阴影过大甚至混色情况出现。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种掩膜板与掩膜板组件，改善了刻蚀区的褶皱情况，减少了出现蒸镀阴影及混色的情况。

根据本公开的一个方面，提供了一种掩膜板，该掩膜板包括：

刻蚀区，包括相背的第一端与第二端；

焊接区，位于所述刻蚀区的所述第一端与所述第二端；

开孔区，至少形成于所述刻蚀区的第一端或第二端，且位于所述焊接区背离所述刻蚀区的一侧，所述开孔区包括多个第一开孔；

无刻蚀区，位于所述刻蚀区的所述第一端与所述第二端，且位于所述开孔区背离所述刻蚀区的一侧。

在本公开的一种示例性实施例中，所述刻蚀区的所述第一端与所述第二端均设有所述开孔区。

在本公开的一种示例性实施例中，所述开孔区包括多个子开孔区，所述子开孔区包括多个所述第一开孔，多个所述子开孔区沿所述开孔区背离所述刻蚀区的方向间隔分布。

在本公开的一种示例性实施例中，所述子开孔区的形状呈沿预设方向延伸的条状开口，所述预设方向与所述开孔区背离所述刻蚀区的方向相交。

在本公开的一种示例性实施例中，所述刻蚀区在所述第一端与第二端中的至少一端的边缘朝向所述刻蚀区的外围延伸有多个刻蚀部，所述刻蚀部包括多个第二开孔。

在本公开的一种示例性实施例中，所述刻蚀区在所述第一端与第二端的边缘均形成有所述刻蚀部。

在本公开的一种示例性实施例中，所述刻蚀部的形状呈矩形、三角形、球冠形或椭圆形中的一种。

在本公开的一种示例性实施例中，多个所述刻蚀部的形状相同且阵列分布。

在本公开的一种示例性实施例中，位于所述第一端与所述第二端的至少一端的所述焊接区包括多个子焊接区，所述子焊接区包括多个第三开孔。。

根据本公开的另一个方面，还提供了一种掩膜板组件，该掩膜板组件包括: