[发明专利]一种静电卡盘固定结构

权利要求书

1.一种静电卡盘固定结构，其特征在于，所述固定结构由聚焦环和基底组成；

所述基底工作侧上设置有第一连接部；

所述聚焦环的环平面上设置第二连接部；

所述聚焦环包覆静电卡盘的边缘；

所述基底和所述聚焦环通过所述第一连接部与所述第二连接部卡合连接。

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，

所述第一连接部包括：连接槽；所述第二连接部包括：连接筋；

所述连接槽与所述连接筋形状匹配；

所述连接筋与所述连接槽内侧抵接实现所述第一连接部与所述第二连接部的卡合连接。

3.根据权利要求2述的结构，其特征在于，

所述连接槽包括：环形槽和条形槽；

所述连接筋的形状和大小与所述连接槽匹配。

4.根据权利要求2述的结构，其特征在于，

所述连接槽纵截面为矩形，所述连接筋的形状与所述连接槽纵截面的形状相匹配。

5.根据权利要求2述的结构，其特征在于，

所述连接槽纵截面为三角形，所述连接筋的形状与所述连接槽纵截面的形状相匹配。

6.根据权利要求2述的结构，其特征在于，

所述连接槽纵截面为弧形，所述连接筋的形状与所述连接槽纵截面的形状相匹配。

7.根据权利要求1述的结构，其特征在于，

所述第一连接部包括：连接孔；所述第二连接部包括：插件；

所述插件与所述连接孔形状匹配；

所述插件与所述连接孔孔壁抵接。

8.根据权利要求7述的结构，其特征在于，

所述连接孔包括：方孔或圆形孔，所述插件与所述方孔或所述圆形孔的形状和尺寸相匹配。

9.根据权利要求7述的结构，其特征在于，

所述连接孔孔壁为球面，所述插件与所述球面的形状和尺寸相匹配。

10.根据权利要求7述的结构，其特征在于，

所述连接孔包括锥形孔，所述插件与所述锥形孔的形状和尺寸相匹配。。