[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，

包括：

分度室，设置有装载、卸载基板的移送机器人；

工序室，设置有对基板进行加热的加热单元，对基板进行工序处理；

负载锁定室，配置于上述分度室与上述工序室之间；以及

搬送室，形成于上述工序室与上述负载锁定室之间，设置有用于移送基板的搬送机器人，

在上述搬送机器人设置有对工序处理前状态的基板进行预先加热的预先加热单元。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述搬送机器人包括：

手部，对基板进行支撑，在内部设置有加热器；以及

机器人本体，用于驱动上述手部，

上述手部利用上述加热器来通过接触加热方式对工序处理前状态的基板进行预先加热。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，若基板放置于上述手部，则上述加热器将会开启。

4.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，在基板未放置于上述手部的情况下，上述加热器将会关闭。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述搬送机器人包括：

手部，对基板进行支撑，设置有对基板照射光的加热灯部件；以及

机器人本体，用于驱动上述手部，

上述手部利用上述加热灯部件来通过非接触加热方式对工序处理前状态的基板进行预先加热。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，若基板放置于上述手部，则上述加热灯部件将会开启。

7.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，在基板未放置于上述手部的情况下，上述加热灯部件将会关闭。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述搬送机器人包括：

手部，对基板进行支撑，在内部设置加热器，在上部设置加热灯部件；以及

机器人本体，用于驱动上述手部，

若工序处理前状态的基板放置于上述手部，则开启上述加热灯部件之后，开启上述加热器来依次对上述工序处理前状态的基板进行预先加热。

9.一种基板处理装置，其特征在于，

包括：

分度室，设置有装载、卸载基板的移送机器人；

工序室，设置有对基板进行加热的加热单元，对基板进行工序处理；

负载锁定室，配置于上述分度室与上述工序室之间；以及

搬送室，形成于上述工序室与上述负载锁定室之间，设置有用于移送基板的搬送机器人，

在上述负载锁定室设置有对工序处理前状态的基板进行预先加热的预先加热单元。

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，

上述负载锁定室包括：

外罩，与外部隔离；以及

支撑单元，设置于上述外罩的内部，对基板进行支撑，

在上述支撑单元的内部设置有通过接触加热方式对工序处理前状态的基板进行预先加热的支撑单元加热器。

11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，若基板放置于上述支撑单元，则上述支撑单元加热器将会开启。

12.根据权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，在基板未放置于上述支撑单元的情况下，上述支撑单元加热器将会关闭。

13.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，

上述负载锁定室包括：

外罩，与外部隔离；以及

支撑单元，设置于上述外罩的内部，对基板进行支撑，

在上述外罩的侧壁内部及上壁内部中的至少一个设置通过非接触加热方式对工序处理前状态的基板进行预先加热的外罩加热器。