[发明专利]一种方片边缘堆胶的去除方法在审
| 申请号： | 202011177623.8 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112162471A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 边疆;王惠生;朴勇男;张德强 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/40 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 于晓波 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 去除 方法 | ||
1.一种方片边缘堆胶的去除方法，其特征在于：该方法是针对方片上涂覆的光刻胶进行边缘堆胶去除，具体包括如下步骤：
(1)方片传送至涂胶单元涂覆光刻胶；
(2)在光刻胶涂覆时，采用化学方式对方片边缘区域胶膜进行部分去除，即减薄晶圆边缘区域胶膜厚度，并控制减薄区域的大小；
(3)将方片边缘减薄后，将方片的旋转转速调整至1200r-1400r，旋转5s，使方片减薄的边缘部分重新挂胶，且使减薄区域的胶膜与中心光刻胶厚度一致；
(4)涂覆光刻胶后的方片传送至热板进行后烘处理。
2.根据权利要求1所述的方片边缘堆胶的去除方法，其特征在于：步骤(1)中，涂覆的光刻胶粘度为10-30cp，玻璃基底方片上所形成胶膜的厚度为1μm-5μm。
3.根据权利要求1所述的方片边缘堆胶的去除方法，其特征在于：步骤(2)中，采用化学方式对方片进行边缘堆胶的去除时：目标去除宽度为W1，设POS1为方片对角线上一点，则W1为POS1到方片外角的距离，设置POS2为在方片对角线上且在方片边缘外侧的点(在方片对角线外)，喷洒化学品(去除液)的针头在POS1和POS2之间进行往复扫描，通过控制化学品流量、针头角度、扫描速度和扫描时间，使方片边缘的光刻胶减薄至其初始厚度的50％～60％。
4.根据权利要求3所述的方片边缘堆胶的去除方法，其特征在于：步骤(2)中，POS1与POS2之间的距离为2-4mm；采用化学方式(EBR)喷酒化学品时，化学品流量、针头角度、扫面速度以及扫描时间，需要根据方片上的胶膜厚度、特性等确定。
5.根据权利要求3所述的方片边缘堆胶的去除方法，其特征在于：方片边缘的光刻胶减薄的厚度为0.5-2μm。
6.根据权利要求1所述的玻璃基底方片边缘堆胶的去除方法，其特征在于：步骤(4)中，所述后烘处理的烘烤温度110-130℃，烘烤时间90-180s。
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