[发明专利]椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质

权利要求书

1.一种椭偏仪，其特征在于，所述椭偏仪包括：

光源，用于发射自然光；

分束器，所述分束器位于所述光源的出光侧，以将所述光源发出的光线分成第一子光线以及第二子光线；

入射光调整组件，所述入射光调整组件位于所述第一子光线的出射光路上，用于将所述第一子光线调整为处于第一偏振态的偏振光；

测试台，所述测试台位于所述入射光调整组件的出光侧，且用于放置待测样品；

出射光调整组件，所述出射光调整组件位于所述测试台的出光侧，用于将所述待测样品的出射光线调整为处于第二偏振态的偏振光；

第一探测器，第一探测器位于所述出射光调整组件的出光侧，用于采集所述处于第二偏振态的偏振光的光学参数；

第二探测器，所述第二探测器位于所述第二子光线的出射光路上，用于采集所述第二子光线的光学参数，所述光学参数包括相位和/或振幅。

2.如权利要求1所述的椭偏仪，其特征在于，所述入射光调整组件包括：

起偏器，所述起偏器位于所述第一子光线的出射光路上，用于将所述第一子光线调整为处于第三偏振态的偏振光；

第一调制器，所述第一调制器位于所述起偏器的出光侧，用于将所述起偏器的出射光线调整为处于第一偏振态的偏振光；

所述出射光调整组件包括：

第二调制器，所述第二调制器位于所述测试台的出光侧，用于将所述待测样品的出射光线调整为处于第二偏振态的偏振光；

检偏器，所述检偏器位于所述第二调制器与所述第一探测器之间的光路上，用于检测所述第二调制器的出射光线的偏振状态。

3.如权利要求1所述的椭偏仪，其特征在于，所述出射光调整组件位于反射光路或透射光路上。

4.一种椭偏仪的测试方法，其特征在于，所述椭偏仪的测试方法应用于如权利要求1至3中任一项所述的椭偏仪，包括以下步骤：

获取第一探测器采集的第一光学参数，其中，第一光学参数包括振幅和/或相位；

获取第二探测器采集的与所述第一光学参数对应的第二光学参数；

根据所述第二光学参数修正所述第一光学参数；

根据修正后的所述第一光学参数获取所述待测样品的属性信息，所述属性信息包括待测样品的薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜内部过渡层性质。

5.如权利要求4所述的椭偏仪的测试方法，其特征在于，所述根据所述第二光学参数修正所述第一光学参数的步骤包括：

获取所述第二子光线对应的标准光学参数；

根据所述标准光学参数以及所述第二光学参数获取测试误差值；

根据所述测试误差值修正所述第一光学参数。

6.如权利要求5所述的椭偏仪的测试方法，其特征在于，所述获取所述第二子光线对应的标准光学参数的步骤包括：

获取所述光源发出的光线对应的总标准光学参数；

获取所述分束器的分光比例；

根据所述总标准光学参数以及所述分光比例获取所述第二子光线对应的标准光学参数。

7.如权利要求4所述的椭偏仪的测试方法，其特征在于，所述获取第二探测器采集的与所述第一光学参数对应的第二光学参数的步骤包括：

确定所述第一光学参数对应的采集时间点；

获取在采集时间点时所述第二探测器采集的所述第二光学参数。

8.一种椭偏仪的测试装置，其特征在于，所述椭偏仪的测试装置包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的椭偏仪的测试程序，所述椭偏仪的测试程序被所述处理器执行时实现如权利要求4至7中任一项所述的椭偏仪的测试方法的步骤。

9.一种计算机存储介质，其特征在于，所述计算机存储介质上存储有椭偏仪的测试程序，所述椭偏仪的测试程序被处理器执行时实现如权利要求4至7中任一项所述的椭偏仪的测试方法的步骤。