[发明专利]椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质

说明书

本发明公开了一种椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质，椭偏仪包括：光源；分束器，分束器位于光源的出光侧，以将光源发出的光线分成第一子光线以及第二子光线；入射光调整组件，入射光调整组件位于第一子光线的出射光路上，用于将第一子光线调整为处于第一偏振态的偏振光；测试台用于放置待测样品；出射光调整组件，出射光调整组件位于测试台的出光侧，用于将待测样品的出射光线调整为处于第二偏振态的偏振光；第一探测器，第一探测器位于出射光调整组件的出光侧，用于采集处于第二偏振态的偏振光的光学参数；第二探测器，第二探测器位于第二子光线的出射光路上，用于采集第二子光线的光学参数。本发明旨在提高椭偏仪测试结果的准确性。

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。测量的基本思路是，将入射光路调整为已知偏振态的入射光射向样品，偏振光在样品表面被反射，测量得到反射光偏振态(相位和振幅)，根据光线通过薄膜样品的相位、振幅变化计算或拟合出材料的属性。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。

在通过椭偏仪进行测试时，光源会发生波动，使得光源实际发出的光不够稳定，振幅以及相位等参数因此而发生变化，产生测量误差。目前，通常是对光源进行预热，例如，对光源预热一小时，以提高光源的稳定性。但即使经过较长时间的预热，光源依旧会发生波动，导致测试结果的准确性偏低。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质，旨在提高椭偏仪测试结果的准确性。

为实现上述目的，本发明提供一种椭偏仪，所述椭偏仪包括：

光源；

分束器，所述分束器位于所述光源的出光侧，以将所述光源发出的光线分成第一子光线以及第二子光线；

入射光调整组件，所述入射光调整组件位于所述第一子光线的出射光路上，用于将所述第一子光线调整为处于第一偏振态的偏振光；

测试台，所述测试台位于所述入射光调整组件的出光侧，且用于放置待测样品；

出射光调整组件，所述出射光调整组件位于所述测试台的出光侧，用于将所述待测样品的出射光线调整为处于第二偏振态的偏振光；

第一探测器，第一探测器位于所述出射光调整组件的出光侧，用于采集所述处于第二偏振态的偏振光的光学参数；

第二探测器，所述第二探测器位于所述第二子光线的出射光路上，用于采集所述第二子光线的光学参数。

可选地，所述入射光调整组件包括：

起偏器，所述起偏器位于所述第一子光线的出射光路上，用于将所述第一子光线调整为处于第三偏振态的偏振光；

第一调制器，所述第一调制器位于所述起偏器的出光侧，用于将所述起偏器的出射光线调整为处于第一偏振态的偏振光；

所述出射光调整组件包括：

第二调制器，所述第二调制器位于所述测试台的出光侧，用于将所述待测样品的出射光线调整为处于第二偏振态的偏振光；

检偏器，所述检偏器位于所述第二调制器与所述第一探测器之间的光路上，用于检测所述第二调制器的出射光线的偏振状态。

可选地，所述出射光调整组件位于反射光路或透射光路上。