[发明专利]蒸镀装置和显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种显示装置的制造方法，使用蒸镀掩模来向基板蒸镀有机材料，该显示装置的制造方法的特征在于：

与所述基板相对地配置所述蒸镀掩模，

检测第一位置的所述基板与所述蒸镀掩模之间的第一间隙(l₁)，

检测第二位置的所述基板与所述蒸镀掩模之间的第二间隙(l₂)，

将所述第一间隙(l₁)和所述第二间隙(l₂)调节为满足式3，

其中，L₁₂为所述第一位置与所述第二位置之间的距离。

2.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

满足式4，

3.如权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

还检测第三位置的所述基板与所述蒸镀掩模之间的第三间隙(l₃)，

将所述第一间隙(l₁)和所述第三间隙(l₃)调节为满足式5，

其中，L₁₃为所述第一位置与所述第三位置之间的距离。

4.如权利要求3所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

满足式6，

5.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

所述基板和所述蒸镀掩模以彼此相对的面朝向与铅垂方向交叉的方向的方式配置，

在所述铅垂方向上，所述第一位置位于所述第二位置的上方。

6.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

所述第一位置和所述第二位置各自为所述基板的四角附近的任一角附近。

7.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

所述第一间隙(l₁)和所述第二间隙(l₂)各自同步地进行调节。

8.一种显示装置的制造方法，其使用蒸镀掩模来向基板蒸镀有机材料，该显示装置的制造方法的特征在于：

与所述基板相对地配置所述蒸镀掩模，

将所述基板和所述蒸镀掩模以彼此相对的面朝向与铅垂方向交叉的方向的方式配置，

检测第一位置的所述基板与所述蒸镀掩模之间的第一间隙，

检测第二位置的所述基板与所述蒸镀掩模之间的第二间隙，

同时调节所述第一位置和所述第二位置，使得所述第一间隙与所述第二间隙之差变小。

9.如权利要求8所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

具有包含所述第一位置和所述第二位置的n个检测位置，检测从所述第一位置到第n位置的所述基板与所述蒸镀掩模的各间隙，

同时调节所述第一位置至所述第n位置，使得所述各间隙中的最大值与最小值之差变小，

其中，n为3以上的自然数。

10.如权利要求9所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

所述第一位置至所述第n位置设置在所述基板的端部附近。

11.如权利要求10所述的显示装置的制造方法，其特征在于：

所述基板为矩形，所述第一位置至所述第n位置的全部或一部分设置在所述基板的四角。