[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，通过溅射在基板上形成由靶的构成原子形成的薄膜，其特征在于，

该成膜装置具备：

腔室；

靶单元，设置在所述腔室内，所述靶单元具备所述靶以及设置在所述靶的内部且具有产生磁力的磁力产生构件的磁力单元；

第一壳体单元，具有所述靶单元的旋转中心轴线方向的一端侧的轴承功能；

第二壳体单元，具有所述靶单元的旋转中心轴线方向的另一端侧的轴承功能；以及

第二支承轴部，旋转自如地轴支承于所述第二壳体单元，

所述第二支承轴部具备：

环状的第二靶用支承轴，构成为相对于所述靶装卸自如；

第二磁力单元用支承轴，构成为相对于所述磁力单元装卸自如；

冷却液的通路，设置在所述第二磁力单元用支承轴的内部；

轴承单元，设置在隔着所述第二靶用支承轴的与所述靶单元相反的一侧，将所述第二磁力单元用支承轴支承为旋转自如；

电气配线；以及

汇流环，与所述电气配线连接，且固定于所述轴承单元，并且被设置成在所述第二靶用支承轴上滑动，

用于使所述靶单元旋转的驱动力从所述第一壳体单元内与所述靶单元连接，

供给于所述靶单元的冷却液和施加于所述靶的电压从所述第二壳体单元内与所述靶单元连接。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述靶单元具备：

第一驱动机构，使所述靶旋转；以及

第二驱动机构，使所述磁力单元旋转。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述磁力单元在径向内侧和径向外侧分别具有空间，径向内侧的空间被用作冷却液的通路，径向外侧的环状空间是收容所述磁力产生构件的密闭空间。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述磁力单元的所述径向内侧的空间同所述磁力单元与所述靶之间的环状间隙连通，成为供冷却液流动的通路。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

该成膜装置具备：第一支承轴部，旋转自如地轴支承于所述第一壳体单元，

所述靶单元构成为相对于所述第一支承轴部和所述第二支承轴部装卸自如。

6.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

所述第一支承轴部具备：

环状的第一靶用支承轴，构成为相对于所述靶装卸自如；以及

第一磁力单元用支承轴，构成为相对于所述磁力单元装卸自如，

所述第一磁力单元用支承轴相对于所述第一靶用支承轴被轴支承为旋转自如。

7.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

所述第二磁力单元用支承轴相对于所述第二靶用支承轴被轴支承为旋转自如。

8.根据权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，

所述轴承单元构成为，不传递驱动力，且在所述第二支承轴部相对于所述第二壳体单元在旋转中心轴线方向上滑动时，能够与所述第二支承轴部一起移动。

9.根据权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，

在所述轴承单元的内部设置有冷却液的通路，并连接有向该轴承单元供给所述冷却液的配管。

10.根据权利要求9所述的成膜装置，其特征在于，

所述配管具有挠性。

11.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述电气配线具有挠性。

12.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

在所述靶单元和所述第二支承轴部未被固定的状态下，该第二支承轴部构成为能够相对于所述第二壳体单元在旋转中心轴线方向上滑动。