[发明专利]一种高效沉积派瑞林膜层的方法在审

专利信息
申请号: 202011191936.9 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112795901A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 刘万满;闵杰;陈建军 申请(专利权)人: 夏禹新材料(深圳)有限公司;深圳清华大学研究院
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52
代理公司: 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 代理人: 郝艳平
地址: 518101 广东省深圳市宝安区福海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 沉积 派瑞林膜层 方法
【权利要求书】:

1.一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,包括以下步骤:

第一步:设置一个以上的蒸发室(1)、一个以上的裂解室(2)、一个镀膜腔室(3)以及一个真空获得与冷却捕集系统(4),蒸发室(1)与裂解室(2)通过管道连通,裂解室(2)与镀膜腔室(3)通过管道连通,镀膜腔室(3)和真空获得系统与冷却捕集系统通过管道连通,在每个蒸发室(1)与裂解室(2)之间设置第一压力传感器(5),在每个裂解室(2)与镀膜腔室(3)之间设置第二压力传感器(6),在镀膜腔室(3)上设置第三压力传感器(7),蒸发室(1)、裂解室(2)、镀膜腔室(3)、真空获得与冷却捕集系统(4)、第一压力传感器(5)、第二压力传感器(6)以及第三压力传感器(7)均通过计算机控制;

第二步:将派瑞林原材料投入一个或多个蒸发室(1),通过计算机控制将蒸发室(1)预热到120℃以下,将裂解室(2)温度升至500-750℃之间;

第三步:利用真空获得与冷却捕集系统(4)对蒸发室(1)、裂解室(2)及镀膜腔室(3)进行抽气,压力抽到1-50mtorr;

第四步:通过计算机控制,将装有派瑞林原材料的蒸发室(1)的温度升至120-200℃之间,经蒸发室(1)加热,固体的派瑞林原材料在蒸发室(1)内升华为气体后移向裂解室(2)内,在裂解室(2)的高温作用下发生裂解反应,裂解后的派瑞林气体进入镀膜腔室(3)发生聚合反应形成防护膜层,计算机实时监控蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值;

第五步:在镀膜过程中,计算机实时监控镀膜腔室(3)内的压力值、蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值、裂解室(2)与镀膜腔室(3)之间的压力值,控制多套蒸发室(1)以及裂解室(2)的升温、降温速率;

第六步:当所有蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值低于设定停机压力值时,计算机控制蒸发室(1)与裂解室(2)停止加热,当温度达到安全值时设备自动暴大气并停机。

2.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,镀膜腔室(3)和真空获得与冷却捕集系统(4)之间安装有第四压力传感器(8),第四压力传感器(8)通过计算机控制。

3.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,多个蒸发室(1)可连通在一个裂解室(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,多个裂解室(2)可连通在一个蒸发室(1)上。

5.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,多个裂解室(2)可并入一根管道与镀膜腔室(3)连通。

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