[发明专利]一种高效沉积派瑞林膜层的方法在审
申请号: | 202011191936.9 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN112795901A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 刘万满;闵杰;陈建军 | 申请(专利权)人: | 夏禹新材料(深圳)有限公司;深圳清华大学研究院 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52 |
代理公司: | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人: | 郝艳平 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 沉积 派瑞林膜层 方法 | ||
1.一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,包括以下步骤:
第一步:设置一个以上的蒸发室(1)、一个以上的裂解室(2)、一个镀膜腔室(3)以及一个真空获得与冷却捕集系统(4),蒸发室(1)与裂解室(2)通过管道连通,裂解室(2)与镀膜腔室(3)通过管道连通,镀膜腔室(3)和真空获得系统与冷却捕集系统通过管道连通,在每个蒸发室(1)与裂解室(2)之间设置第一压力传感器(5),在每个裂解室(2)与镀膜腔室(3)之间设置第二压力传感器(6),在镀膜腔室(3)上设置第三压力传感器(7),蒸发室(1)、裂解室(2)、镀膜腔室(3)、真空获得与冷却捕集系统(4)、第一压力传感器(5)、第二压力传感器(6)以及第三压力传感器(7)均通过计算机控制;
第二步:将派瑞林原材料投入一个或多个蒸发室(1),通过计算机控制将蒸发室(1)预热到120℃以下,将裂解室(2)温度升至500-750℃之间;
第三步:利用真空获得与冷却捕集系统(4)对蒸发室(1)、裂解室(2)及镀膜腔室(3)进行抽气,压力抽到1-50mtorr;
第四步:通过计算机控制,将装有派瑞林原材料的蒸发室(1)的温度升至120-200℃之间,经蒸发室(1)加热,固体的派瑞林原材料在蒸发室(1)内升华为气体后移向裂解室(2)内,在裂解室(2)的高温作用下发生裂解反应,裂解后的派瑞林气体进入镀膜腔室(3)发生聚合反应形成防护膜层,计算机实时监控蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值;
第五步:在镀膜过程中,计算机实时监控镀膜腔室(3)内的压力值、蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值、裂解室(2)与镀膜腔室(3)之间的压力值,控制多套蒸发室(1)以及裂解室(2)的升温、降温速率;
第六步:当所有蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值低于设定停机压力值时,计算机控制蒸发室(1)与裂解室(2)停止加热,当温度达到安全值时设备自动暴大气并停机。
2.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,镀膜腔室(3)和真空获得与冷却捕集系统(4)之间安装有第四压力传感器(8),第四压力传感器(8)通过计算机控制。
3.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,多个蒸发室(1)可连通在一个裂解室(2)上。
4.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,多个裂解室(2)可连通在一个蒸发室(1)上。
5.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法,其特征在于,多个裂解室(2)可并入一根管道与镀膜腔室(3)连通。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的