[发明专利]一种高效沉积派瑞林膜层的方法

权利要求书

1.一种高效沉积派瑞林膜层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：设置一个以上的蒸发室(1)、一个以上的裂解室(2)、一个镀膜腔室(3)以及一个真空获得与冷却捕集系统(4)，蒸发室(1)与裂解室(2)通过管道连通，裂解室(2)与镀膜腔室(3)通过管道连通，镀膜腔室(3)和真空获得系统与冷却捕集系统通过管道连通，在每个蒸发室(1)与裂解室(2)之间设置第一压力传感器(5)，在每个裂解室(2)与镀膜腔室(3)之间设置第二压力传感器(6)，在镀膜腔室(3)上设置第三压力传感器(7)，蒸发室(1)、裂解室(2)、镀膜腔室(3)、真空获得与冷却捕集系统(4)、第一压力传感器(5)、第二压力传感器(6)以及第三压力传感器(7)均通过计算机控制；

第二步：将派瑞林原材料投入一个或多个蒸发室(1)，通过计算机控制将蒸发室(1)预热到120℃以下，将裂解室(2)温度升至500-750℃之间；

第三步：利用真空获得与冷却捕集系统(4)对蒸发室(1)、裂解室(2)及镀膜腔室(3)进行抽气，压力抽到1-50mtorr；

第四步：通过计算机控制，将装有派瑞林原材料的蒸发室(1)的温度升至120-200℃之间，经蒸发室(1)加热，固体的派瑞林原材料在蒸发室(1)内升华为气体后移向裂解室(2)内，在裂解室(2)的高温作用下发生裂解反应，裂解后的派瑞林气体进入镀膜腔室(3)发生聚合反应形成防护膜层，计算机实时监控蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值；

第五步：在镀膜过程中，计算机实时监控镀膜腔室(3)内的压力值、蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值、裂解室(2)与镀膜腔室(3)之间的压力值，控制多套蒸发室(1)以及裂解室(2)的升温、降温速率；

第六步：当所有蒸发室(1)与裂解室(2)之间的压力值低于设定停机压力值时，计算机控制蒸发室(1)与裂解室(2)停止加热，当温度达到安全值时设备自动暴大气并停机。

2.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法，其特征在于，镀膜腔室(3)和真空获得与冷却捕集系统(4)之间安装有第四压力传感器(8)，第四压力传感器(8)通过计算机控制。

3.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法，其特征在于，多个蒸发室(1)可连通在一个裂解室(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法，其特征在于，多个裂解室(2)可连通在一个蒸发室(1)上。

5.根据权利要求1所述的一种高效沉积派瑞林膜层的方法，其特征在于，多个裂解室(2)可并入一根管道与镀膜腔室(3)连通。