[发明专利]一种高效沉积派瑞林膜层的方法

说明书

本发明涉及派瑞林镀膜技术领域，具体公开了一种高效沉积派瑞林膜层的方法，包括以下步骤：第一步：设置一个以上的蒸发室、一个以上的裂解室、一个镀膜腔室以及一个真空获得与冷却捕集系统；第二步：将派瑞林原材料投入蒸发室，将蒸发室与裂解室升温；第三步：利用真空获得与冷却捕集系统对蒸发室、裂解室及镀膜腔室进行抽气；第四步：将蒸发室继续升温，计算机实时监控蒸发室与裂解室之间的压力值；第五步：在镀膜过程中，计算机实时监控镀膜腔室内的压力值、蒸发室与裂解室之间的压力值、裂解室与镀膜腔室之间的压力值，控制多套蒸发室以及裂解室的升温、降温速率；本发通过增加蒸发室与裂解室的数量，可有效提升派瑞林膜层的沉积速率。

技术领域

本发明涉及派瑞林镀膜技术领域，尤其涉及一种高效沉积派瑞林膜层的方法。

背景技术

现有的制备派瑞林膜层的方法大致如下：在真空环境下，固体的派瑞林原材料在蒸发室内加热后升华为气体，在压差的作用下气化的派瑞林原材料向裂解室方向移动，并在裂解室高温作用下发生裂解反应，裂解后的派瑞林气体进入镀膜腔室内发生聚合反应形成防水膜层。

现有设备的设计都是采用1套蒸发室+1套裂解室+1套镀膜腔室+1套真空获得与冷却捕集系统的模式。由于裂解室处理效率有限，因此高分子物质在镀膜腔室内聚合的速度较为缓慢。如果提高蒸发室的温升速率，则高分子有机材料可能在裂解室内不能充分裂解，在镀膜腔室内聚合时就可能会出现膜层发白、组织缺陷多无法达到相应的防护要求等一系列问题。

发明内容

为解决背景技术中提到的问题，本发明的目的在于提供一种高效沉积派瑞林膜层的方法。

为了实现上述目标，本发明的技术方案为：

一种高效沉积派瑞林膜层的方法，包括以下步骤：

第一步：设置一个以上的蒸发室、一个以上的裂解室、一个镀膜腔室以及一个真空获得与冷却捕集系统，蒸发室与裂解室通过管道连通，裂解室与镀膜腔室通过管道连通，镀膜腔室和真空获得系统与冷却捕集系统通过管道连通，在每个蒸发室与裂解室之间设置第一压力传感器，在每个裂解室与镀膜腔室之间设置第二压力传感器，在镀膜腔室上设置第三压力传感器，蒸发室、裂解室、镀膜腔室、真空获得与冷却捕集系统、第一压力传感器、第二压力传感器以及第三压力传感器均通过计算机控制；

第二步：将派瑞林原材料投入一个或多个蒸发室，通过计算机控制将蒸发室预热到120℃以下，将裂解室温度升至500-750℃之间；

第三步：利用真空获得与冷却捕集系统对蒸发室、裂解室及镀膜腔室进行抽气，压力抽到1-50mtorr；

第四步：通过计算机控制，将装有派瑞林原材料的蒸发室内的温度升至 120-200℃之间，经蒸发室加热，固体的派瑞林原材料在蒸发室内升华为气体后移向裂解室内，在裂解室的高温作用下发生裂解反应，裂解后的派瑞林气体进入镀膜腔室发生聚合反应形成防护膜层，计算机实时监控蒸发室与裂解室之间的压力值；

第五步：在镀膜过程中，计算机实时监控镀膜腔室内的压力值、蒸发室与裂解室之间的压力值、裂解室与镀膜腔室之间的压力值，控制多套蒸发室以及裂解室的升温、降温速率；

第六步：当所有蒸发室与裂解室之间的压力值低于设定停机压力值时，计算机控制蒸发室与裂解室停止加热，当温度达到安全值时设备自动暴大气并停机。

进一步的，镀膜腔室和真空获得与冷却捕集系统之间安装有第四压力传感器，第四压力传感器通过计算机控制。

进一步的，多个蒸发室可连通在一个裂解室上。

进一步的，多个裂解室可连通在一个蒸发室上。

进一步的，多个裂解室可并入一根管道与镀膜腔室连通。