[发明专利]一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置，其特征在于，包括真空发生器，所述真空发生器有三个接口，三个接口分别与第一连接管、第二连接管和第三连接管相连，第一连接管的末端与压缩空气过滤减压阀相连接，第二连接管的末端与大气相通，第三连接管的末端与多孔真空吸盘的抽气孔相连接；第三连接管上连接有电子压力计。

2.根据权利要求1所述多孔真空吸盘的自洁性检测装置，其特征在于，还包括空气压缩机；所述压缩空气过滤减压阀通过第四连接管和空气压缩机相连接。

3.采用权利要求1-2任一所述自洁性检测装置检测多孔真空吸盘自洁性的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）所述多孔真空吸盘的多孔金属吸附板上表面设有第一塑料膜，然后在带有第一塑料膜的多孔金属吸附板上套设压环，接着在第一塑料膜上开设若干大小一致的孔，最后在所有孔上贴第二塑料膜以盖住孔，所有孔构成测试区域；

2）将其中一个孔上方的第二塑料膜揭开，其余非测试区域上端的孔仍需密封，然后读取电子压力计的示数，采用同样的方式依次测量其他测试区域，最后计算所有测试区域负压的平均值P₁；

3）采用循环抽水工装将步骤1）的多孔真空金属吸盘固定，所述循环抽水工装置于装有复合镀液的盛水槽中；所述循环抽水工装由底座、设于底座侧壁的气动接头、抽水泵以及连接管组成；所述底座上表面的中部设有向上延伸的凸台，所述连接管将抽水泵与气动接头连接；凸台和底座的内部设有抽水通道，所述抽水通道由凸台顶部依次向下向气动接头处延伸，且与连接管和抽水泵相连通；

在盛水槽中装硅粉与水的混合液，其中，硅粉的质量分数为5-10%，硅粉粒度是1-50um；液体排出流量10L/min，抽水时间10-30min，此时硅粉会随着液体流动，进入多孔金属吸附板内部孔道结构中以及基座内部的沟槽以及抽气孔；

4）将多孔真空金属吸盘从循环抽水工装上取下来，依次将相应测试区域上方的第二塑料膜揭开，读取电子压力计的示数，计算所有测试区域负压的平均值P₂，利用∆P=P₂－P₁作为判定多孔真空吸盘自洁性能的评价指标，其中∆P越小，说明真空吸盘自洁性能越好。

4.根据权利要求3所述检测多孔真空吸盘自洁性的方法，其特征在于，进入第一连接管的压缩空气压力为0.6MPa。

5.根据权利要求3所述检测多孔真空吸盘自洁性的方法，其特征在于，所述第一塑料膜为紫外光固化塑料膜，第二塑料膜为胶带。

6.根据权利要求3所述检测多孔真空吸盘自洁性的方法，其特征在于，将凸台伸入多孔真空金属吸盘的抽气孔中以固定多孔真空金属吸盘。