[发明专利]一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法

说明书

本发明属于真空吸盘技术领域，具体涉及一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法。所述多孔真空吸盘的自洁性检测装置，包括包括真空发生器，所述真空发生器有三个接口，分别连接第一连接管、第二连接管和第三连接管，第一连接管的末端与压缩空气过滤减压阀相连接，第二连接管的末端与大气相通，第三连接管的末端与多孔真空吸盘的抽气孔相连接；第三连接管上连接有电子压力计；压缩空气过滤减压阀通过第四连接管和空气压缩机相连接。采用本发明的检测装置和检测方法能够很好并准确的检测多孔真空吸盘的自洁性能。

技术领域

本发明属于真空吸盘技术领域，具体涉及一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法。

背景技术

半导体芯片制程中，多孔真空吸盘作为固定各类晶圆片的承载工具，目前被广泛地使用。传统的多孔真空吸盘采用机械打孔的方式造孔，该类多孔真空吸盘虽然不易堵塞和粘污，但由于机械打孔的局限性，导致无法量产孔径小于500um的吸盘，因此无法吸附厚度薄于100um的晶圆片。目前流行的多孔真空陶瓷吸盘，其多孔吸附区域采用堆积成孔的方式，利用冷压或热压成型以及高温烧结制造多孔陶瓷吸附板。该类吸盘理论上可实现任意大小的气孔，且气孔率可调，但该类吸盘的多孔金属吸附板，由于内部纵横交错的贯通孔结构，实际使用过程中容易堵塞和沾污，且物理超声以及化学试剂清洗，效果并不明显；同时由于多孔陶瓷吸附板硬度大，晶圆吸附过程中容易产生划伤；并且该类吸盘售价较高，短时间内定期更换吸盘在较大程度上增加企业成本，造成资源浪费。

鉴于现有技术中各类真空吸盘存在的问题，需要提供一种自洁性多孔真空吸盘，那么如何对多孔真空吸盘的自洁性进行检测以及与现有的吸盘自洁性进行比较，需要设计专有的检测装置和方法。

发明内容

为了克服现有技术中的问题，本发明提供了一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置。该检测装置能够很好并准确的检测多孔真空吸盘的自洁性能。

本发明还提供了自洁性多孔真空吸盘自洁性的检测方法。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置，包括真空发生器，所述真空发生器有三个接口，分别连接第一连接管、第二连接管和第三连接管，第一连接管的末端与压缩空气过滤减压阀相连接，第二连接管的末端与大气相通，第三连接管的末端与多孔真空吸盘的抽气孔相连接；第三连接管上连接有电子压力计。

优选的，还包括空气压缩机；压缩空气过滤减压阀通过第四连接管和空气压缩机相连接（即压缩空气过滤减压阀的另一端与第四连接管相连，第四连接管的末端与空气压缩机相连接）。

采用上述自洁性检测装置检测多孔真空吸盘自洁性的方法，包括以下步骤：

1）所述多孔真空吸盘的多孔金属吸附板上表面设有第一塑料膜，然后在带有第一塑料膜的多孔金属吸附板上套设压环，接着在第一塑料膜上开设若干大小一致的孔，最后在所有孔上贴第二塑料膜以盖住孔，所有孔构成测试区域；

2）将其中一个孔上方的第二塑料膜揭开，其余非测试区域上端的孔仍需密封，然后读取电子压力计的示数，采用同样的方式依次测量其他测试区域，最后计算所有测试区域负压的平均值P₁；

3）采用循环抽水工装将步骤1）的多孔真空吸盘固定，所述循环抽水工装置于装有复合镀液的盛水槽中；所述循环抽水工装由底座、设于底座侧壁的气动接头、抽水泵以及连接管组成；所述底座上表面的中部设有向上延伸的凸台，所述连接管将抽水泵与气动接头连接；凸台和底座的内部设有抽水通道，所述抽水通道由凸台顶部依次向下向气动接头处延伸，且与连接管和抽水泵相连通；

在盛水槽中装硅粉与水的混合液，其中，硅粉的质量分数为5-10%，硅粉粒度是1-50um；液体排出流量10L/min，抽水时间10-30min，此时硅粉会随着液体流动，进入多孔金属吸附板内部孔道结构中以及基座内部的沟槽以及抽气孔；