[发明专利]多工位双室镀膜机

权利要求书

1.一种多工位双室镀膜机，其特征在于，所述多工位双室镀膜机包括第一工件台、第二工件台、流转台、处理室、镀膜室以及多个承载架，所述第二工件台与所述第一工件台的一侧连通，所述第一工件台的另一侧与所述流转台的一侧连通，所述流转台的另一侧与所述处理室连通，所述处理室远离所述流转台的一侧与所述镀膜室连通，所述承载架用于承载工件并在所述多工位双室镀膜机内流转，所述流转台用于将承载架输入至所述处理室中对工件进行处理，所述处理室用于在对所述工件进行处理后输入至镀膜室内进行镀膜。

2.根据权利要求1所述的多工位双室镀膜机，其特征在于，所述流转台具有沿所述流转台的长度方向间隔形成的第一工位以及第二工位，所述第一工位的两侧分别与所述处理室和所述第一工件台连通。

3.根据权利要求2所述的多工位双室镀膜机，其特征在于，所述第二工位与所述第二工件台连通。

4.根据权利要求3所述的多工位双室镀膜机，其特征在于，所述多工位双室镀膜机还包括连接架，所述连接架的一端与所述第一工件台连接，所述连接架的另一端与所述第二工件台连接。

5.根据权利要求4所述的多工位双室镀膜机，其特征在于，所述多工位双室镀膜机还包括多个转运辊，多个所述转运辊间隔布置，所述承载架位于所述转运辊上方以通过所述转运辊在所述多工位双室镀膜机内流转。

6.根据权利要求5所述的多工位双室镀膜机，其特征在于，所述处理室外部设有与所述处理室的内腔连通的第一安装仓，所述镀膜室外部设有与所述镀膜室的内腔连通的第二安装仓，所述第一安装仓内设有处理装置，所述第二安装仓内设有镀膜装置。

7.根据权利要求6所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述镀膜装置包括至少一对用于对所述工件镀膜的阴极。

8.根据权利要求7所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述处理装置为蒸发器、离子源清洗器以及镀膜装置中的任一种。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述双室高效镀膜机还包括真空抽取系统，所述真空抽取系统与所述处理室和/或所述镀膜室连通以对应抽取所述处理室和所述镀膜室内的气体。