[发明专利]一种半导体制备用清洗装置

说明书

本发明涉及半导体技术领域，且公开了一种半导体制备用清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱下表面的四角均固定连接有固定底座，所述清洗箱的正面设置有门板，所述门板的正面固定连接有操作把手，所述清洗箱的内底部固定连接有固定板，所述固定板上表面的左右两侧均设置有移动转动装置，所述移动转动装置的内侧设置有夹持装置。该半导体制备用清洗装置，通过驱动电机驱动转动盘带动滑动柱向内移动移动半导体进行夹持固定，对半导体具有更好的固定效果，能够更好的对半导体表面进行全方位均匀的清洗，有效降低对导体的清洗死角，有利于更好的对半导体进行清洗，提高对半导体的清洗效果，有利于使用便利性的提高。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种半导体制备用清洗装置。

背景技术

半导体片的清洗是一项非常精细的工作，而且半导体片对清洗环境的要求较为苛刻，在清洗过程中，需要保证周边环境的清洁，同时对半导体片的清洗也是一项费时费力的工作；目前现有的半导体清洗装置一般是通过将半导体简单的固定后进行清洗；现有的半导体清洗装置在对半导体的清洗过程中难以对半导体表面进行全方位均匀的清洗，极易产生对半导体的清洗死角，不利于更好的对半导体进行清洗，不利于使用便利性的提高。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体制备用清洗装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体制备用清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱下表面的四角均固定连接有固定底座，所述清洗箱的正面设置有门板，所述门板的正面固定连接有操作把手，所述清洗箱的内底部固定连接有固定板，所述固定板上表面的左右两侧均设置有移动转动装置，所述移动转动装置的内侧设置有夹持装置，所述清洗箱右侧面的底部连通有排水阀门，所述清洗箱上表面的左侧固定连接有存放箱，所述存放箱的上表面设置有进料盖，所述清洗箱上表面的右侧固定连接有水泵，所述水泵的输入端连通有进水管，所述水泵的输出端连通有出水管，所述门板的上表面固定连接有收集管，所述清洗箱内壁的左右两侧均固定连接有电动推杆，所述出水管的底端连通有清洗喷头。

优选的，所述移动转动装置包括固定立板，所述固定立板的下表面固定连接有稳定块，所述固定立板的内侧面固定连接有十字稳定板，所述固定立板的外侧面设置有转动轴承，所述转动轴承的内部固定连接有转动轴，所述转动轴的外端固定连接有蜗轮，所述固定立板的外侧面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有蜗杆，所述蜗轮与蜗杆啮合，所述转动轴的内端固定连接有转动盘，所述转动盘内侧面设置有滑动柱。

优选的，所述夹持装置包括第一固定支架，所述第一固定支架的内侧设置有联动支撑杆，所述联动支撑杆的中部设置有稳定转轴，所述联动支撑杆的内侧设置有第二固定支架，所述第二固定支架的内侧面固定连接有夹紧弧形板，所述夹紧弧形板的外侧面固定连接有稳定支撑柱，所述稳定支撑柱的外表面设置有缓冲弹簧。

优选的，所述转动盘的正面开设有弧形通孔，弧形通孔的尺寸与滑动柱的尺寸相适配。

优选的，所述转动轴承的内侧面开设有T形滑槽，滑动柱的外端固定连接有T形滑块，T形滑槽与T形滑块滑动连接。

优选的，所述操作把手的外表面设置有防滑层，防滑层的外表面均匀设置有防滑纹路。

优选的，所述门板的背面设置有密封块，清洗箱的正面开设有密封槽，密封块与密封槽相适配。

优选的，所述空气检测模块、风机、低压静电除尘模块与PLC处理器电性连接；

所述终端设备与所述空气检测模块、空气检测模块、PLC处理器连接；

所述PLC处理器位于所述清洁箱内的顶部，所述低压静电除尘模块位于所述清洁箱的内部；