[发明专利]Micro LED转移装置及转移方法、显示面板在审
| 申请号： | 202011204175.6 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112420894A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李冬泽 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L21/683;H01L21/67;H01L27/15 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | micro led 转移 装置 方法 显示 面板 | ||
1.一种Micro LED转移装置，其特征在于，包括：打印装置，所述打印装置包括：
基板，所述基板用于吸附Micro LED；以及，
位于所述基板表面的释放层，所述释放层用于在设定的湿度条件下分离所述基板及所述Micro LED。
2.根据权利要求1所述的Micro LED转移装置，其特征在于，所述释放层包括水汽敏感性高分子材料。
3.根据权利要求2所述的Micro LED转移装置，其特征在于，所述水汽敏感性高分子材料包括溶剂以及分散于所述溶剂中的水溶性高分子化合物和反应物。
4.根据权利要求3所述的Micro LED转移装置，其特征在于，所述水溶性高分子化合物包括聚吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮中的至少一种；所述反应物包括柠檬酸、己二酸中的至少一种与碳酸氢钠的组合；所述溶剂包括二氯甲烷及乙醇。
5.根据权利要求3所述的Micro LED转移装置，其特征在于，所述水溶性高分子化合物与所述反应物的质量比为10：1～1：1。
6.根据权利要求4所述的Micro LED转移装置，其特征在于，所述二氯甲烷的质量百分比为0.5％～1％，所述乙醇的质量百分比为小于或等于5％。
7.根据权利要求1所述的Micro LED转移装置，其特征在于，所述基板包括基底以及位于所述基底靠近所述释放层一侧的弹性体。
8.根据权利要求1所述的Micro LED转移装置，其特征在于，所述设定的湿度条件为湿度大于50％。
9.一种Micro LED转移方法，其特征在于，采用如权利要求1～8任一所述的Micro LED转移装置，包括以下步骤：
S10：提供一承载基板及目标基板；其中，所述承载基板表面形成有多个待转移的所述Micro LED，所述目标基板上设置有待放置所述Micro LED的目标位置；
S20：利用所述打印装置拾取所述Micro LED；
S30：将所述Micro LED放置在所述目标基板的所述目标位置处，并对所述打印装置进行水汽处理，以分离所述Micro LED与所述基板。
10.一种显示面板，其特征在于，包括：
目标基板，所述目标基板包括采用如权利要求1～8任一所述Micro LED转移装置转移得到的多个Micro LED。
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