[发明专利]Micro LED转移装置及转移方法、显示面板在审
申请号: | 202011204175.6 | 申请日: | 2020-11-02 |
公开(公告)号: | CN112420894A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 李冬泽 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/683;H01L21/67;H01L27/15 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | micro led 转移 装置 方法 显示 面板 | ||
本申请公开了一种Micro LED转移装置及转移方法、显示面板,所述Micro LED转移装置包括打印装置;所述打印装置包括基板以及位于所述基板表面的释放层;所述基板用于吸附Micro LED;所述释放层用于在设定的湿度条件下分离所述基板及所述Micro LED,以改善转移Micro LED过程中出现局部力失衡导致转移效果不佳,影响产品良率的问题,提高Micro LED的转移精度及产品良率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种Micro LED转移装置及转移方法、显示面板。
背景技术
微型发光二极管(Micro Light Emitting Diode,Micro LED)因其具有高亮度、高对比度、高解析度、高色域及广视角等特性,成为显示技术领域的研究重点。但如何将微型发光二极管按需转移至阵列基板的对应像素上成为发展微型发光二极管技术的难点。目前一般采用巨量转移技术实现微型二极管的转移,但即使是采用巨量转移技术中较成熟的弹性印模(Stamp)转移技术,也存在着技术缺陷,如在采用异方性导电胶或者其他邦定材料技术的时候,会出现局部的力失衡,达不到精确地转移效果。
发明内容
本申请实施例提供一种Micro LED转移装置及转移方法、显示面板,可以改善转移Micro LED过程中出现局部力失衡导致转移效果不佳,影响产品良率的问题。
本申请实施例提供一种Micro LED转移装置,包括:打印装置,所述打印装置包括:
基板,所述基板用于吸附Micro LED;以及,
位于所述基板表面的释放层,所述释放层用于在设定的湿度条件下分离所述基板及所述Micro LED。
在一些实施例中,所述释放层包括水汽敏感性高分子材料。
在一些实施例中,所述水汽敏感性高分子材料包括溶剂以及分散于所述溶剂中的水溶性高分子化合物和反应物。
在一些实施例中,所述水溶性高分子化合物包括聚吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮中的至少一种,所述反应物包括柠檬酸、己二酸中的至少一种与碳酸氢钠的组合;所述溶剂包括二氯甲烷及乙醇。
在一些实施例中,所述水溶性高分子化合物与所述反应物的质量比为10:1~1:1。
在一些实施例中,所述二氯甲烷的质量百分比为0.5%~1%,所述乙醇的质量百分比为小于或等于5%。
在一些实施例中,所述基板包括基底以及位于所述基底靠近所述释放层一侧的弹性体。
在一些实施例中,所述设定的湿度条件为湿度大于50%。
本申请还提供一种Micro LED转移方法,采用所述的Micro LED转移装置,包括以下步骤:
S10:提供一承载基板及目标基板;其中,所述承载基板表面形成有多个待转移的所述Micro LED,所述目标基板上设置有待放置所述Micro LED的目标位置;
S20:利用所述打印装置拾取所述Micro LED;
S30:将所述Micro LED放置在所述目标基板的所述目标位置处,并对所述打印装置进行水汽处理,以分离所述Micro LED与所述基板。
本申请还提供一种显示面板,包括:
目标基板,所述目标基板包括采用所述Micro LED转移装置转移得到的多个MicroLED或采用Micro LED转移方法转移得到的多个Micro LED。
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