[发明专利]一种集成电路自动控制测试方法在审
申请号: | 202011206894.1 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN112379244A | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 王华;刘远华;季海英;凌俭波;叶建明;崔孝叶 | 申请(专利权)人: | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人: | 宋振宇 |
地址: | 201203 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 自动控制 测试 方法 | ||
1.一种集成电路自动控制测试方法,其特征在于:
一、根据handler的内部结构,设计一个横向导轨;
二、在横向导轨上安装一个纵向导轨,纵向导轨垂直横向导轨安装,纵向导轨依托横向导轨上的轨道前后移动,移动的长度记为L;
三、在纵向导轨上安装机械臂,机械臂垂直纵向导轨安装,机械臂依托纵向导轨的轨道左右移动,左右移动的距离记为W;
四、增加的机械臂覆盖的区域为LxW的一块区域,要求这个区域是机械手分拣覆盖分BIN后的Tray盘位置;
五、在软件控制上,在芯片测试完成后,handler根据测试结果将芯片放在指定BIN的tray盘里面;
六、在不改变handler本身算法的情况下,插入触发控制节点,当测试结果出现需要重测的BIN以后,控制横向导轨和纵向导轨,以及机械臂移动到芯片位置,吸取芯片并移动放置到新增加的待测区域。
2.如权利要求1所述的一种集成电路自动控制测试方法,其特征在于:当待测区域当前Tray盘放置满了以后,使用handler本身的空tray堆叠在上面,从而继续放置待测芯片。
3.如权利要求2所述的一种集成电路自动控制测试方法,其特征在于:当完成第一轮所有芯片测试后,机械臂将在失效复测区需要复测的芯片吸取到进料区,从而由进料区的机械臂将芯片重新送入待测区;进行下一轮的测试。
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