[发明专利]一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置

说明书

本发明提供了一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置，包括：微流控芯片、第一磁性材料部、柔性层，微流控芯片的表面设有流体通道，第一磁性材料部为条形，第一磁性材料部置于微流控芯片上，第一磁性材料部横跨流体通道，柔性层包覆流体通道和第一磁性材料部，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口。应用时，第一磁性材料部的两端连接外磁路，用以测量第一磁性材料部的磁阻，通过测量第一磁性材料部磁阻的变化实现流速探测。本发明具有流速测量精度高的优点。

技术领域

本发明涉及微流控流速探测领域，具体涉及一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置。

背景技术

微流控技术是流体物理学、生物激光技术、微反应器等领域科学研究的重要平台。微流流速检测是微流控技术的重要环节。传统基于热传递和悬臂梁形变的流速检测技术的精度低。

发明内容

为解决以上问题，本发明提供了一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置，包括：微流控芯片、第一磁性材料部、柔性层，微流控芯片的表面设有流体通道，第一磁性材料部为条形，第一磁性材料部置于微流控芯片上，第一磁性材料部横跨流体通道，柔性层包覆流体通道和第一磁性材料部，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口。

更进一步地，在流体通道内，第一磁性材料部的截面尺寸小于100微米。

更进一步地，在流体通道顶部，第一磁性材料部固定连接柔性层。

更进一步地，在流体通道顶部，第一磁性材料部与柔性层接触。

更进一步地，还包括第二磁性材料部，第二磁性材料部固定在流体通道内柔性层上。

更进一步地，第二磁性材料部为条形，条形沿第一磁性材料部的方向，第二磁性材料部与第一磁性材料部接触。

更进一步地，第二磁性材料部的厚度小于第一磁性材料部的厚度。

更进一步地，在流体通道内，在与第二磁性材料部接触的一侧，第一磁性材料部的表面设有突出部，在突出部处，第二磁性材料部内设有对应的凹槽或孔洞。

更进一步地，突出部的磁导率大于第一磁性材料部和第二磁性材料部的磁导率。

更进一步地，柔性层的材料为聚二甲基硅氧烷。

本发明的有益效果：本发明提供了一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置，包括微流控芯片、第一磁性材料部、柔性层，微流控芯片的表面设有流体通道，第一磁性材料部为条形，第一磁性材料部置于微流控芯片上，第一磁性材料部横跨流体通道，柔性层包覆流体通道和第一磁性材料部，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口。应用时，第一磁性材料部的两端连接外磁路，用以测量第一磁性材料部的磁阻。测量流体的流速时，流体在流体通道内流动，柔性层受到压力向外弯曲，改变了第一磁性材料部的形状或第一磁性材料部周围环境，从而改变了第一磁性材料部的磁阻，通过测量第一磁性材料部磁阻的变化实现流速探测。因为磁性材料的磁阻对其内部应力、形状、周围环境非常敏感，所以本发明具有流速测量精度高的优点。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置的示意图。

图2是又一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置的示意图。

图3是再一种基于磁阻变化的微流控流速探测装置的示意图。

图中：1、微流控芯片；2、流体通道；3、第一磁性材料部；4、柔性层；5、第二磁性材料部；6、突出部。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。