[发明专利]用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法

权利要求书

1.一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，包括放电反应器(7)，其特征在于：所述放电反应器(7)一端分别与管道一和管道二连通设置，所述管道一上安装有减压阀一(1)、电磁流量计一(2)和电磁阀四(3)，所述管道二上安装有减压阀二(4)、电磁流量计二(5)和电磁阀五(6)；

所述放电反应器(7)通过管道三与酸液洗气池(8)连通设置，所述酸液洗气池(8)通过管道四微型压缩机(12)连通设置，所述管道四上安装有止回阀和电磁阀三(10)，所述管道四上设置缓冲气袋(11)，所述微型压缩机(12)通过管道五与缓冲气室(16)连通设置，所述缓冲气室(16)连通设置有管道六，所述管道六上安装有电池阀三(17)，所述缓冲气室(16)连通设置有管道七，所述管道七上依次安装电磁阀二(14)和真空泵(15)。

2.根据权利要求1所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述管道一远离放电反应器(7)的一端与Ar气瓶连通设置。

3.根据权利要求2所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述减压阀一(1)、电磁流量计一(2)和电磁阀四(3)依次靠近Ar气瓶设置。

4.根据权利要求3所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述止回阀(9)、电磁阀二(10)和缓冲气袋(11)依次靠近微型压缩机(12)设置。

5.根据权利要求4所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述缓冲气室(16)上安装有压力表(18)。

6.根据权利要求5所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述管道六另一端与管道一连通设置。

7.根据权利要求6所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述管道六与管道一连通设置的位置位于减压阀一(1)和电磁流量计一(2)之间。

8.根据权利要求7所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述管道四连通设置管道八，所述管道八上安装有电磁阀一(13)。

9.根据权利要求8所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述酸液洗气池(8)内部放置有饱和的氢氧化钙溶液。

10.一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、处理前使用载气对SF6废气进行稀释，并通过电磁阀四(3)和电磁阀五(6)对其稀释比进行精确控制，并实时控制；

S2、通过碱液洗气池(8)对降解后的尾气进行处理，之后再将气体分为两路，一路直接排除，一路进入缓冲气室(16)，等待下一步处理；

S3、使用缓冲气室(16)实现尾气的暂存与进一步处理，通过压力表(18)监控缓冲气室(16)的气压，并使用真空泵(15)将暂存的载气输出至载气气路进行循环利用。