[发明专利]用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法

说明书

本发明公开了一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法，包括放电反应器，所述放电反应器一端分别与管道一和管道二连通设置，所述管道一上安装有减压阀一、电磁流量计一和电磁阀四，所述管道二上安装有减压阀二、电磁流量计二和电磁阀五。本发明能够实现精确的气体稀释，实时控制SF6的稀释比例，能够实现SF6降解尾气的循环利用；通过尾气吸收池，可以将分解产生的毒害气体产物吸收，最大程度上保证尾气中只含未降解的SF6以及稀释气体；可以在洗气池和缓冲气室两部分直接取气，方便检测降解效果以及气体循环状态。适用于电力。

技术领域

本发明涉及六氟化硫降解技术领域，具体为用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法。

背景技术

SF6作为一种工业气体，被广泛应用于电力、半导体加工、金属加工业等领域中。其中电气领域对SF6的使用量占SF6每年使用总量的80％。近年来，随着中国、印度等国家电力工业的发展，SF6气体的使用量也逐渐增加，导致SF6废气的排放量也随之增加。近五年来，SF6在全球大气中的含量增长了20％，达到了～105吨的数量级。因SF6具有极高的温室效应值，大约是同质量CO2的23900倍，在1997年的京都议定书中被列为了六大温室气体之一。近年来，针对SF6废气的回收与排放是环境领域的一个热门问题。

近年来，许多环境废气常用的处理手段被用来降解SF6气体，包括热催化降解、光解、电解等。低温等离子体处理技术作为近年来十分热门的废气处理手段，具有方便简单、能耗低、处理彻底等优势，应用前景十分广阔，同时也有相关技术已经被报道应用在SF6废气的处理中。

目前针对六氟化硫气体处理的方法，例如2015年3月4日公布号为CN104386652A的“六氟化硫回收处理工艺”，2018年1月16日公布号为CN107588325A的“一种六氟化硫气体回收充气装置”等专利，主要针对六氟化硫气体进行收集、提纯和储存，其外采用热裂解和水洗等形式对SF6废气进行处理。

对于SF6的放电处理过程，主流方法是采用介质阻挡放电、微波放电等形式，在指定的反应器中形成等离子体区域，对SF6气体进行分解处理。武汉大学张晓星等人于2017年在《中国电机工程学报》上发表的“介质阻挡放电等离子体降解SF6的实验与仿真研究”中，采用了石英玻璃反应器，对SF6废气实现了DBD放电处理，处理过程SF6需要经过稀释，稀释气体常用氮气、空气等，最终能够实现超过90％的降解效果。但是本方法中SF6气体在静态环境下降解，同时产物主要为酸性毒害气体，排放具有局限性。其他学者研究SF6废气的电解过程也同样需要对SF6气体进行稀释处理，过高浓度的SF6气体会抑制放电过程，削弱处理效果。这样一来，需要有大量的气体消耗在稀释过程中，导致了气体浪费，该问题有待解决。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，包括放电反应器，所述放电反应器一端分别与管道一和管道二连通设置，所述管道一上安装有减压阀一、电磁流量计一和电磁阀四，所述管道二上安装有减压阀二、电磁流量计二和电磁阀五；

所述放电反应器通过管道三与酸液洗气池连通设置，所述酸液洗气池通过管道四微型压缩机连通设置，所述管道四上安装有止回阀和电磁阀三，所述管道四上设置缓冲气袋，所述微型压缩机通过管道五与缓冲气室连通设置，所述缓冲气室连通设置有管道六，所述管道六上安装有电池阀三，所述缓冲气室连通设置有管道七，所述管道七上依次安装电磁阀二和真空泵。

优选的，所述管道一远离放电反应器的一端与Ar气瓶连通设置。

优选的，所述减压阀一、电磁流量计一和电磁阀四依次靠近Ar气瓶设置。

优选的，所述止回阀、电磁阀二和缓冲气袋依次靠近微型压缩机设置。

优选的，所述缓冲气室上安装有压力表。