[发明专利]一种吸取机构及基板移载机

权利要求书

1.一种吸取机构，其特征在于，包括：

滑动组件，包括呈交叉设置的第一滑轨和第二滑轨；

第一连接件，滑动连接于所述第一滑轨的一端，所述第一连接件能沿所述第一滑轨的长度方向滑动；

第二连接件，滑动连接于所述第二滑轨的一端，所述第二连接件能沿所述第二滑轨的长度方向滑动；

第一吸附组件，设于所述第一连接件上且用于吸附基板；

第二吸附组件，设于所述第二连接件上且用于吸附基板；以及

支撑件，所述支撑件的一端与所述第一连接件固定连接，所述支撑件的另一端与所述第二连接件固定连接，所述支撑件能做伸缩运动。

2.如权利要求1所述的吸取机构，其特征在于，所述滑动组件还包括滑动连接于所述第一滑轨的第一滑块以及滑动连接于所述第二滑轨的第二滑块，所述第一连接件固定于所述第一滑块上，所述第二连接件固定于所述第二滑块上。

3.如权利要求2所述的吸取机构，其特征在于，所述支撑件包括主杆以及与所述主杆伸缩连接的副杆，所述第一连接件设于所述主杆上，所述第二连接件设于所述副杆上。

4.如权利要求2所述的吸取机构，其特征在于，所述第一滑轨上对称设有两个所述第一滑块和两个所述第一连接件，每一所述第一滑块固定连接于对应的所述第一连接件，每一所述第一连接件设有对应的所述第一吸附组件；

所述第二滑轨上对称设有两个所述第二滑块和两个所述第二连接件，每一所述第二滑块固定连接于对应的所述第二连接件，每一所述第二连接件设有对应的所述第二吸附组件；

所述吸取机构包括两个分别设于所述滑动组件的相对两侧的所述支撑件，每一所述支撑件分别与对应的所述第一连接件和所述第二连接件连接。

5.如权利要求4所述的吸取机构，其特征在于，所述吸取机构还包括用于驱动所述支撑件朝靠近或远离所述第一滑轨和所述第二滑轨的交叉位置的方向移动的驱动组件。

6.如权利要求5所述的吸取机构，其特征在于，所述驱动组件包括具有输出轴的电机以及连接于所述电机的输出轴的螺杆，所述支撑件螺纹配合于所述螺杆上。

7.如权利要求6所述的吸取机构，其特征在于，其中一个所述支撑件上设有第一固定座，另一个所述支撑件上设有第二固定座，所述第一固定座上开设有供所述螺杆螺纹配合的第一螺孔，所述第二固定座上开设有供所述螺杆螺纹配合的第二螺孔，所述第一螺孔的内螺纹的旋转方向和所述第二螺孔的内螺纹的旋转方向相反。

8.如权利要求6所述的吸取机构，其特征在于，所述螺杆与所述支撑件垂直设置。

9.如权利要求1至8任一项所述的吸取机构，其特征在于，所述吸取机构还包括设于所述滑动组件上的转动轴承，所述转动轴承的旋转轴垂直于所述第一滑轨和所述第二滑轨。

10.一种基板移载机，其特征在于，包括机架以及如权利要求1至9任一项所述的吸取机构，所述吸取机构设于所述机架上。