[发明专利]硅片刻蚀残留在线分拣装置及具有该装置的生产线及方法

说明书

本发明涉及太阳能电池领域，尤其涉及硅片刻蚀残留在线分拣装置及具有该装置的生产线及方法，分拣装置包括第一机架，所述第一机架上设置第一皮带传送机，所述第一皮带传送机的上方设置有一个暗箱，所述暗箱内设置有近红外光源和近红外CCD相机，所述近红外光源和近红外CCD相机连接有计算机，所述计算机连接有布置在第一皮带传送机一侧的取片装置，所述第一皮带传送机旁设置有回收装置，所述取片装置和回收装置布置在暗箱下游，本发明还提供了一种包含该在线分拣装置的生产线，本发明还提供了一种在线监控分拣的方法，本发明实现了硅片的在线检测，自动化分拣，确定了统一的标准，提高了分拣的准确率，提高了太阳能电池片的生产效率及良品率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池领域，尤其涉及硅片刻蚀残留在线分拣装置及具有该装置的生产线及方法。

背景技术

在工业化硅基太阳电池（除一些特殊工艺电池，如HIT电池）制备过程中，刻蚀工艺是必不可少的步骤。其主要用于P型硅片磷扩散、N型硅片硼扩散后的去背结以及一些特殊工艺中去绕镀、去掩模环节。在刻蚀工序中如果刻蚀均匀性不好会导致出现刻蚀残留问题，导致不良品的产生。

以现今热门的N型TOPCon电池为例，其制备流程主要包括：制绒、正面硼扩散、背结刻蚀、背面隧穿氧化及多晶硅沉积、背面磷扩散、刻蚀去除正面绕镀、正面氧化铝沉积、正面氮化硅沉积、背面氮化硅沉积及丝网印刷和烧结。

其中，在背结刻蚀过程中，需要将热扩散在背面形成的硼结完全去除，否则会导致电池正背面短路，造成漏电，影响电池电性能，产生不良品。

此外，背面隧穿氧化及多晶硅沉积、背面磷扩散过程也会在电池正面形成绕镀，去绕镀刻蚀工序容易出现刻蚀不完全现象，留有残留，也会造成电池正背面短路，影响电池电性能，同时也会造成电池外观不良，产生不良品。

目前，业内对去背结刻蚀工序的监控基本采用抽测，而对去除poly绕镀的刻蚀工艺监控一般由刻蚀工艺人员肉眼观察刻蚀线进行监控，两种监控方法效率低并且都易出现错检和漏检。

发明内容

本发明的目的是：克服现有技术中的不足，提供硅片刻蚀残留在线分拣装置及具有该装置的生产线及方法。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

硅片刻蚀残留在线分拣装置，包括第一机架，所述第一机架上设置第一皮带传送机，所述第一皮带传送机的上方设置有一个暗箱，所述暗箱内设置有近红外光源和近红外CCD相机，所述近红外光源和近红外CCD相机连接有计算机，所述计算机连接有布置在第一皮带传送机一侧的取片装置，所述第一皮带传送机一侧设置有回收装置，所述取片装置和回收装置布置在暗箱下游。

进一步的，所述回收装置包括导向板和储料盒，所述储料盒位于导向板下方。

进一步的，所述回收装置包括第二皮带传送机机架，第二皮带传送机机架上安装有第二皮带传送机，所述第二皮带传送机将不良品硅片输送到刻蚀端继续刻蚀。

进一步的，所述第一皮带传送机位于取片装置和回收装置之间，所述取片装置包括推杆，所述推杆水平设置在第一皮带传送机旁，推杆运动方向与第一皮带传送机垂直，所述推杆由步进电机驱动，所述步进电机连接计算机。

进一步的，所述取片装置包括支座，所述支座上设置有垂直移动装置和水平移动装置，所述水平移动装置上设置有吸盘，所述水平移动装置的活动范围包括第一皮带传送机的局部和回收装置的局部。

本发明还提供一种太阳能硅片的生产流水线，所述生产流水线包括上述的硅片刻蚀残留在线分拣装置。

本发明还提供一种硅片刻蚀残留在线监控分拣方法，所述方法包括以下步骤：

步骤一，将待测硅片引上第一皮带传送机起点；