[发明专利]一种低弧引线键合强度评价方法在审

专利信息
申请号: 202011220303.6 申请日: 2020-11-05
公开(公告)号: CN112349611A 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 车勤;金龙;徐娟;张辉 申请(专利权)人: 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 耿英
地址: 215163 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 引线 强度 评价 方法
【权利要求书】:

1.一种低弧引线键合强度评价方法,其特征是,包括以下步骤:

步骤1、制作基板样片,在基板样片上的两个键合区之间开设一个可插入拉力钩的空腔槽;

步骤2、在基板样片上的两键合区之间进行楔形键合;

步骤3、采用规定的键合拉力测试方法进行测试,对引线的第一键合点、键合机参数、键合拉力测试数据进行计算分析,得到键合拉力与键合点宽度和键合机参数之间的对应关系;

步骤4、根据该对应关系,通过测量第一键合点的宽度判断评价出实际基板上同样弧高、跨距的引线的键合拉力强度。

2.根据权利要求1所述的低弧引线键合强度评价方法,其特征是,步骤3中,对第一键合点的宽度与实际测试的键合拉力值,以及键合机的参数进行一一对应分析,确定第一键合点宽度与键合拉力值之间的对应关系,通过键合点宽度,判断引线键合强度。

3.根据权利要求1或2所述的低弧引线键合强度评价方法,其特征是,步骤3中,对第一键合点的宽度与实际测试的拉力值,以及键合机的参数进行一一对应分析,确定第一键合点宽度与键合拉力值之间的对应关系,确定键合拉力值最大且键合拉力值稳定时对应的键合点宽度,即为最佳的键合点宽度,对应最大的引线拉力的强度。

4.根据权利要求1所述的低弧引线键合强度评价方法,其特征是,所述引线为跨距100μm ~350μm,弧度≤50μm的楔形键合引线。

5.根据权利要求1所述的低弧引线键合强度评价方法,其特征是,步骤3中,采用键合拉力测试方法进行测试时,不断增大施加在第一键合点的功率和时间,键合压力保持稳定,使第一键合点形变宽度至少增长到线径的2倍以上。

6.根据权利要求1所述的低弧引线键合强度评价方法,其特征是,步骤2中,楔形键合的引线为多组。

7.根据权利要求6所述的低弧引线键合强度评价方法,其特征是,步骤3中,采用规定的键合拉力测试方法进行测试时,取每组引线键合拉力的均值进行计算分析。

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