[发明专利]光感测装置和具有平面内及出平面运动的装置在审
申请号: | 202011233797.1 | 申请日: | 2020-11-06 |
公开(公告)号: | CN112838101A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 许郁文 | 申请(专利权)人: | 躍旺创新股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;B81B7/04;G03B5/04;G03B5/02;H04N5/232 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘凤香 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光感测 装置 具有 平面 运动 | ||
1.一种光感测装置,包括:
一传感器,配置用于感测一光;
一平面内运动驱动器,包含:
一电路板,具有包含一中央空腔的一第一底部基部及设置于该第一底部基部之上的一电路板框,其中该第一底部基部具有一第一底部表面;
一引线框,设置于该中央空腔内且具有一第二底部表面;以及
一平面内运动致动器,配置以于其上设置该传感器且具有一可动内框及一固定外框,其中该可动内框沿彼此垂直的两方向的至少一者且平行于该第一底部表面移动;以及
一出平面运动驱动器,包含:
一基部板,具有一基部板表面及设置于该基部板表面的一周围上的一基部板框;以及
四个单轴致动器,设置于该基部板平面上,该四个单轴致动器的每一个具有一致动端,且该每一个单轴致动器沿垂直于该基部板表面的一方向移动该分别的致动端,其中:
该第一底部表面附着于该基部板框,且该第二底部表面附着于该四个致动端。
2.如权利要求1所述的光感测装置,其中该平面内运动致动器还包括:
一基板,具有一贯穿空腔;
一固定部,设置于所述基板上,且该可动内框围绕该固定部设置;
一弹性支撑体,连接于该可动内框与所述固定部之间,并使该可动内框悬浮于所述基板上,其中:
所述贯穿空腔具有一第一面积;该可动内框在所述基板具有一第二投影面积;以及所述第一面积与所述第二投影面积具有一重叠部分。
3.如权利要求3所述的光感测装置,其中该引线框还包括设置于该引线框的四个角落的四个软性弹簧,且该第一底部基部具有从其四个角部分别向外延伸的四个缺口,且该四个软性弹簧分别配合于且焊接于该四个缺口。
4.如权利要求1所述的光感测装置,还包括具有一上表面的一附加板,该板设置于该第二底部表面及该第四个致动端之间,且在该上表面上及该基部板框上施加一胶层。
5.如权利要求1所述的光感测装置,还包括设置于该电路板框上的一滤光片,该滤光片允许一波长范围内的该光通过,且该波长范围为一可见光范围。
6.如权利要求1所述的光感测装置,还包括连接于该平面内运动致动器与该引线框之间连接的一第一组导线,以及连接于该引线框与该电路板之间连接的一第二组导线。
7.一种具有平面内及出平面运动的装置,包括:
一应用组件,配置用于一应用功能;
一平面内运动驱动器,于其上安装该应用组件,且赋能该应用组件相对于一参考平面以三个自由度移动:
一出平面运动驱动器,于其上承载该平面内运动驱动器,且包含一第一单轴致动器,其中:
该第一单轴致动器具有一第一致动端,以及
该第一致动端赋能该应用组件相对于该参考平面以不同于该三个自由度的第四个自由度移动。
8.如权利要求7所述的装置,其中该应用组件为一镜片、一滤光片或一感测组件,且该应用功能为一扫描功能、一滤光功能或一感测功能。
9.如权利要求7所述的装置,其中该平面内运动驱动器包含:
一传感器,配置用于感测一光;
一电路板,具有包含一中央空腔的一第一底部基部及设置于该第一底部基部之上的一电路板框,其中该第一第一底部基部具有一第一底部表面,且该应用组件设置于该地乱板框上;
一引线框,设置于该中央空腔内且具有一第二底部表面及四个软性弹簧;以及
一平面内运动致动器,配置以于其上设置该传感器且具有一可动内框及一固定外框,其中该可动内框沿平行于该第一底部表面移动且彼此垂直的两方向的至少一者移动。
10.如权利要求7所述的装置,其中该出平面运动驱动器还包括具有一第二致动端的一第二单轴致动器及具有一第三致动端的一第三单轴致动器,该第一、该第二及该第三致动端协力地赋能该应用组件相对于该参考平面增加不同于该三个自由度及该第四个自由度的另外二个自由度移动。
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H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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