[发明专利]光感测装置和具有平面内及出平面运动的装置

说明书

本发明提供一种具有平面内及出平面运动的装置，包括：一应用组件，配置用于一应用功能；一平面内运动驱动器，于其上安装该应用组件，且赋能该应用组件相对于一参考平面以三个自由度移动：一出平面运动驱动器，于其上承载该平面内运动驱动器，且包含一单轴致动器，其中：该第一单轴致动器具有一致动端，以及该致动端赋能该应用组件相对于该参考平面以不同于该三个自由度的第四个自由度移动。

技术领域

本公开涉及一种光感测装置。更具体地，本公开涉及具有平面内和出平面运动的光感测装置。

背景技术

微机电系统(MEMS，Microelectromechanical System)致动器具有许多优点，例如小尺寸，低成本，精确的运动控制和低功率消耗，这使其适用于小巧型电子设备或系统中的应用。然而，对于MEMS致动器而言，实现具有6个自由度(DOF)的运动是非常困难的，特别是当需要具有行程精度变得更小于约0.5mm的自动对焦装置时。因此，本发明公开了一种使用MEMS致动器的装置及其组装方法以利用来实现具有6自由度的长行程运动的硅驱动器的解决方案及其在光感测装置中的应用。

另外，照相机中的光学影像稳定(OIS)的设计仅提供了二维的减振，即垂直(或z-)方向(上下)和水平(或x-)方向(左右)。问题是，无法提供照相机中镜头在轴向(或y-)(向前和向后)的减振效果，更不用说在倾斜(包含偏航(yaw)、俯仰(pitch)和滚转(roll)) 方向上的减振。

此外，诸如具有光学影像稳定、自动对焦和高分辨率功能的照相机的光感测装置需要大的空间来容纳大的光学和机械系统。这样给用户带来携带和操作这种大相机的不便。

因此，本申请人已经公开了一种光感测装置及用于制造光感测装置的方法，以改善上述现有技术的问题，并且提供了一种具有一体且小巧的设计的光感测装置，该光感测装置适合于全方向减振、自动对焦、和高分辨率应用。

发明内容

本申请之一目的在于提供一种光感测装置，包括：一传感器，配置用于感测一光；一平面内运动驱动器，包含：一电路板，具有包含一中央空腔的一第一底部基部及设置于该第一底部基部之上的一电路板框，其中该第一底部基部具有一第一底部表面；一引线框，设置于该中央空腔内且具有一第二底部表面；以及一平面内运动致动器，配置以于其上设置该传感器且具有一可动内框及一固定外框，其中该可动内框沿彼此垂直的两方向的至少一者且平行于该第一底部表面移动；以及一出平面运动驱动器，包含：一基部板，具有一基部板表面及设置于该基部板表面的一周围上的一基部板框；以及四个单轴致动器，设置于该基部板平面上，该四个单轴致动器的每一个具有一致动端，且该每一个单轴致动器沿垂直于该基部板表面的一方向移动该分别的致动端，其中：该第一底部表面附着于该基部板框，且该第二底部表面附着于该四个致动端。

本申请之另一目的在于提供一种具有平面内及出平面运动的装置，包括：一应用组件，配置用于一应用功能；一平面内运动驱动器，于其上安装该应用组件，且赋能该应用组件相对于一参考平面以三个自由度移动：一出平面运动驱动器，于其上承载该平面内运动驱动器，且包含一第一单轴致动器，其中：该第一单轴致动器具有一第一致动端，以及该第一致动端赋能该应用组件相对于该参考平面以不同于该三个自由度的第四个自由度移动。

附图说明

本发明的上述目的及优点在参阅以下详细说明及附随附图之后对那些所属技术领域中具有通常知识者将变得更立即地显而易见。

图1是显示根据本发明的一个实施例的光感测装置的示意性分解图。

图2是显示根据本发明的一个实施例的平面内运动驱动器的示意图。

图3是显示根据本发明的一个实施例的平面内运动致动器的示意图。

图4是根据本发明的实施例的微机电致动器的俯视图。

图5是图4的沿虚线A-A的截面图。