[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统及方法

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，包括离子膜电解循环系统、氯气吸收系统和再生液调配监控系统；

所述离子膜电解循环系统构造为溶液循环回路，所述溶液循环回路包括电解系统；

所述氯气吸收系统包括氯气处理缸和碱液池、氯气处理塔二级吸收系统；

所述氯气处理缸和所述碱液池分别具有第一射流器和第二射流器，所述第一射流器用于通过压力水流经所述第一射流器的收缩段与喉径接合处充分混合压缩而形成的负压将氯气吸走并通入低ORP蚀刻药液，所述第二射流器用于通过压力水流经所述第二射流器的收缩段与喉径接合处充分混合压缩而形成的负压将氯气吸走并通入所述碱液池的碱性溶液中；所述氯气吸收系统与所述电解系统密封连接；

所述再生液调配监控系统，用于采集和监测所述酸性蚀刻液循环再生系统的运行数据；所述再生液调配监控系统，包括ORP监控仪，用于通过控制电解蚀刻液的ORP值以控制氯气的产生。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，所述电解系统包括电流控制模块和电解槽，所述电解槽内至少设有一块或以上的电解板；所述电流控制模块和电解板并联连接。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，所述溶液循环回路还包括酸性蚀刻液储存桶以及设置于所述酸性蚀刻液储存桶和所述电解系统之间的第一连接管路、电解后废液储存桶、废水处理装置以及设置于所述电解系统和所述电解后废液储存桶之间的第二连接管路。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，所述再生液调配监控系统，还包括比重检测仪、酸度计、流量计。

5.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，所述电极板包括阳极电极板、阴极电极板、隔离板，所述隔离板将所述阳极电极板与所述阴极电极板分隔开。

6.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，所述酸性蚀刻液循环再生系统构造为若干个三道喷淋结构，所述若干个三道喷淋结构分别布设于所述氯气处理缸和碱液池、氯气处理塔二级吸收系统中。

7.根据权利要求3所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，还包括液体泵，所述液体泵为CQF工程塑料泵，设置于所述第一连接管路上。

8.一种酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1、酸性蚀刻液进入离子膜电解系统，低ORP的酸性蚀刻液从离子膜电解槽阳极低位进入，蚀刻液在电解作用下，酸性蚀刻液中的一价铜离子在阳极失去电子氧化成二价铜离子；

S2、高含铜量的蚀刻液从离子膜电解槽阴极区低位进入，蚀刻废液在电解作用下，铜离子在阴极被还原为铜单质从而使铜离子浓度降低，降低铜离子含量之后的蚀刻液从阴极高位流出，经调配后返回蚀刻工序使用，形成溶液循环回路；

S3、电解过程中产生的氯气，将氯气通过第一射流器吸入到含低ORP的蚀刻液中充分混合，然后通过三道喷淋设计，部分氯气在低ORP的蚀刻液被吸收，又一部分氯气通过第二射流器吸入到氢氧化钠溶液中充分混合，然后在通过三道喷淋装置充分反应，最后残留的少量氯气再通过两道化气塔处理及一道吸附塔后达标排放。

9.根据权利要求8所述的酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤：再生液调配监控系统采集和监测酸性蚀刻液循环再生系统的运行数据；所述运行数据包括比重检测仪、ORP监控仪、酸度计、流量计采集的数据。

10.根据权利要求8所述的酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述ORP监控仪通过控制电解蚀刻液的ORP值以控制氯气的产生，在射流吸收不完全或ORP控制器失灵的突发状况下，ORP过高氯气析出时，采用氢氧化钠与氯气反应对酸雾进行处理，处理后的气体再经过废气塔净化后才排放。