[发明专利]一种真空存储柜的真空系统

权利要求书

1.一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体和设置于箱体内的控制器，其特征在于：所述箱体内的前侧分别设有相互独立的若干个腔室，每个腔室的前侧分别敞口并分别安装有密封门，每个腔室的侧壁上均设有二个安装孔，所述的二个安装孔内分别对应安装有用于检测腔室内有无电子产品的光电开关和用于检测腔室内真空度的真空计；每个腔室的侧壁上均设有第一抽真空接口和第二抽真空接口，所述的第一抽真空接口和第二抽真空接口分别对应连接有第一高真空挡板阀和第二高真空挡板阀；

所述的箱体内分别设置有粗抽真空管路和精抽真空管路，所述的粗抽真空管路一方面与每个腔室上的第一高真空挡板阀之间分别对应连接有第一抽气管路，另一方面连接有粗抽泵，所述的精抽真空管路一方面与每个腔室上的第二高真空挡板阀之间分别对应连接有第二抽气管路，另一方面连接有精抽泵；

所述的控制器一方面分别与所述光电开关和真空计电连接，另一方面分别与所述第一高真空挡板阀、第二高真空挡板阀、粗抽泵和精抽泵电连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的若干个腔室中，一部分腔室为大腔室，另一部分腔室为小腔室。

3.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的密封门通过把手式压紧锁安装在所在腔室的前侧，密封门的内侧在与所在腔室的敞口端相接触的部位连接有环形密封条。

4.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的箱体内在所述若干个腔室的后方固定有支撑架，所述的粗抽真空管路和精抽真空管路均呈横向设置并固定在所述支撑架上。

5.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的第一抽气管路包括有相连接的第一不锈钢波纹管和第一不锈钢管，所述的第一不锈钢波纹管与相对应的第一高真空挡板阀相连接，所述的第一不锈钢管与所述粗抽真空管路相连接；所述的第二抽气管路包括有相连接的第二不锈钢波纹管和第二不锈钢管，所述的第二不锈钢波纹管与相对应的第二高真空挡板阀相连接，所述的第二不锈钢管与所述精抽真空管路相连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的粗抽泵采用涡旋泵，所述的精抽泵采用分子泵。

7.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述粗抽泵和精抽泵的供电回路中均连接有继电器，所述的控制器与所述继电器电连接。

8.根据权利要求7所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的继电器采用常开型继电器。

9.根据权利要求1或7所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的控制器采用PLC。