[发明专利]一种真空存储柜的真空系统

说明书

本发明公开了一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽真空管路，粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路，另一方面分别对应连接有粗、精抽泵；控制器分别与光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽泵电连接。本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。

技术领域

本发明涉及真空存储柜领域，具体是一种真空存储柜的真空系统。

背景技术

在电子产品生产领域，真空存储柜是常见的生产加工设备之一，适用于半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件等电子产品的真空存贮，以达到防潮、防氧化的目的。

现有的大部分真空存储柜，其存储腔室通常为一个整体的密闭腔室，将不同的电子产品放置在此腔室内进行统一存储，当需要取出部分电子产品而开启柜门时，极易窜入空气，破坏柜内的真空环境，给其他电子产品的正常存储造成干扰，甚至会影响一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的防潮、防氧化效果。

虽然也有部分的真空存储柜，将其存储腔室划分成了相互独立的若干个密闭腔室，以达到独立存储，避免相互干扰的目的。但是，在放入电子产品后，通常对所有的密闭腔室进行统一的抽真空，使得每个密闭腔室内的真空度保持一致，然而不同的电子产品对所处密闭腔室的真空环境的要求并不相同，例如一些较为精密的电子产品对真空环境的要求较高，显然，此种真空存储柜不能满足对不同电子产品进行存储的需要。另外，对于此种真空存储柜，无论腔室内是否有存储有电子产品，均与存储有电子产品的其他密闭腔室同时进行抽真空，造成了资源的浪费。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术存在的缺陷和不足，提供一种真空存储柜的真空系统，在能够进行独立存储、避免相互干扰的前提下，来满足不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，来避免因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，并满足一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体和设置于箱体内的控制器，其特征在于：所述箱体内的前侧分别设有相互独立的若干个腔室，每个腔室的前侧分别敞口并分别安装有密封门，每个腔室的侧壁上均设有二个安装孔，所述的二个安装孔内分别对应安装有用于检测腔室内有无电子产品的光电开关和用于检测腔室内真空度的真空计；每个腔室的侧壁上均设有第一抽真空接口和第二抽真空接口，所述的第一抽真空接口和第二抽真空接口分别对应连接有第一高真空挡板阀和第二高真空挡板阀；

所述的箱体内分别设置有粗抽真空管路和精抽真空管路，所述的粗抽真空管路一方面与每个腔室上的第一高真空挡板阀之间分别对应连接有第一抽气管路，另一方面连接有粗抽泵，所述的精抽真空管路一方面与每个腔室上的第二高真空挡板阀之间分别对应连接有第二抽气管路，另一方面连接有精抽泵；

所述的控制器一方面分别与所述光电开关和真空计电连接，另一方面分别与所述第一高真空挡板阀、第二高真空挡板阀、粗抽泵和精抽泵电连接。

进一步的，所述的若干个腔室中，一部分腔室为大腔室，另一部分腔室为小腔室。

进一步的，所述的密封门通过把手式压紧锁安装在所在腔室的前侧，密封门的内侧在与所在腔室的敞口端相接触的部位连接有环形密封条。

进一步的，所述的箱体内在所述若干个腔室的后方固定有支撑架，所述的粗抽真空管路和精抽真空管路均呈横向设置并固定在所述支撑架上。