[发明专利]一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器及制造方法

权利要求书

1.一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，其特征在于，包括：

接头；

烧结基座，所述烧结基座安装在所述接头内，且所述烧结基座底面与所述接头之间设有缓冲件；

焊接座，所述焊接座下端外侧设置有绝缘座，并通过该绝缘座安装在所述烧结基座内；

压力芯体，所述压力芯体安装在所述焊接座上端；

线路板，所述线路板与所述压力芯体电连接；

所述接头内设置有内腔，且所述接头下部设置有导流孔与所述内腔连通，所述烧结基座下端设置有导管，所述导管设置在所述导流孔内，所述烧结基座与所述导管上设有连通的通孔；

所述绝缘座包括绝缘垫层和绝缘侧层，所述烧结基座上设有容腔，所述绝缘垫层设置在所述焊接座的底部与所述容腔的底部之间，所述绝缘侧层设置在所述焊接座的侧边与所述容腔的侧边之间；

所述绝缘垫层设为陶瓷环，所述绝缘侧层设为烧结玻璃，所述烧结基座与所述焊接座上均设置有环形槽，所述环形槽错位分布，所述烧结玻璃嵌入所述环形槽内。

2.据权利要求1所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，其特征在于，所述缓冲件设置为O型橡胶圈，所述内腔的底面上设置有定位槽，所述O型橡胶圈安装在所述定位槽内，所述烧结基座底面与所述O型橡胶圈相接。

3.据权利要求1所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，其特征在于，还包括外接部和键合线，所述键合线一端与所述压力芯体相接，另一端与所述线路板相接，所述外接部用于所述线路板与外界部件的电气连接。

4.据权利要求1所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，其特征在于，所述线路板扣压在所述接头内。

5.一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器的制造方法，其特征在于，包括步骤：

S1：选取陶瓷环和玻璃，将陶瓷环和玻璃安装至烧结基座内；

S2：将焊接座下端安装至陶瓷环和玻璃之间，并高温加工玻璃，形成烧结玻璃；

S3：将压力芯体焊接至焊接座上端；

S4：将烧结基座安装至接头内，并与接头焊接固定；

S5：将线路板扣压至接头内，并选取键合线，将键合线一端连接到压力芯体上，另一端连接到线路板上；

S6：在接头上加工形成外接部。

6.据权利要求5所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器的制造方法，其特征在于，所述接头内加工有定位槽，所述定位槽内设有O型橡胶圈，当所述烧结基座安装至所述接头内时，所述烧结基座与所述O型橡胶圈抵接。

7.据权利要求5所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器的制造方法，其特征在于，在步骤S1之前，分别加工形成接头、烧结基座以及焊接座。