[发明专利]一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器及制造方法

说明书

本发明公开了一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器及制造方法，解决了现有技术中压力变送器绝缘耐电压普遍不高以及压力芯体焊接容易产生应力导致产品稳定性差的问题，本耐超高电压溅射薄膜压力变送器包括接接头、烧结基座、焊接座、压力芯体和线路板，通过焊接座和烧结基座之间设置绝缘座，该绝缘座包括陶瓷环和烧结玻璃，利用陶瓷环和烧结玻璃，对焊接座进行绝缘和密封，从而提高变送器整体耐电压能力，且不会影响到压力芯体的测量精度，并在烧结基座和接头之间设置O型橡胶圈，利用O型橡胶圈既可以为烧结基座提供减震性能，又能消除安装时对压力芯体产生的应力影响，保证压力芯体的测量精度。

技术领域

本发明涉及压力变送器技术领域，特指一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器及制造方法。

背景技术

现有溅射薄膜芯体压力变送器的绝缘耐电压普遍不高，在300VAC左右。溅射薄膜压力芯体的原理是在不锈钢芯体表面镀膜，由于该结构工艺限制，提高耐电压限值非常难。如要大幅提高其耐电压性能，必然会影响其测量精度，使其失去测量精度高的优点，影响产品整体的使用稳定性和可靠性。此问题也是溅射薄膜压力变送器无法大范围推广应用的主要原因和技术瓶颈。

现有产品的压力芯体直接与外壳头部焊接，易受到很大应力，且安装时螺纹预紧力容易影响压力芯体测量精度，长期应用时应力不能释放，导致压力信号漂移，产品稳定变性差。

发明内容

本发明考虑了前述问题而做出，发明的目的是提供一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器及制造方法，既可以提高溅射薄膜芯体压力变送器耐电压性，又可以保证压力芯体的测量精度，还可以减小压力芯体受到的应力。

为实现上述目的，本发明提供一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，包括：

接头；

烧结基座，所述烧结基座安装在所述接头内，且所述烧结基座底面与所述接头之间设有缓冲件；

焊接座，所述焊接座下端外侧设置有绝缘座，并通过该绝缘座安装在所述烧结基座内；

压力芯体，所述压力芯体安装在所述焊接座上端；

线路板，所述线路板与所述压力芯体电连接。

据上所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，所述接头内设置有内腔，且所述接头下部设置有导流孔与所述内腔连通，所述烧结基座下端设置有导管，所述导管设置在所述导流孔内，所述烧结基座与所述导管上设有连通的通孔。

据上所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，所述缓冲件设置为O型橡胶圈，所述内腔的底面上设置有定位槽，所述O型橡胶圈安装在所述定位槽内，所述烧结基座底面与所述O型橡胶圈相接。

据上所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，所述绝缘座包括绝缘垫层和绝缘侧层，所述烧结基座上设有容腔，所述绝缘垫层设置在所述焊接座的底部与所述容腔的底部之间，所述绝缘侧层设置在所述焊接座的侧边与所述容腔的侧边之间。

据上所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，所述绝缘垫层设为陶瓷环，所述绝缘侧层设为烧结玻璃，所述烧结基座与所述焊接座上均设置有环形槽，所述环形槽错位分布，所述烧结玻璃嵌入所述环形槽内。

据上所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，还包括外接部和键合线，所述键合线一端与所述压力芯体相接，另一端与所述线路板相接，所述外接部用于所述线路板与外界部件的电气连接。

据上所述的一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器，所述线路板扣压在所述接头内。

一种耐超高电压溅射薄膜压力变送器的制造方法，包括步骤：

S1：选取陶瓷环和玻璃，将陶瓷环和玻璃安装至烧结基座内；

S2：将焊接座下端安装至陶瓷环和玻璃之间，并高温加工玻璃，形成烧结玻璃；