[发明专利]一种micro LED芯片的光疗仪治疗头的制备方法

说明书

本发明提供了一种micro LED芯片的光疗仪治疗头的制备方法，包括以下步骤：a)在蓝宝石衬底上依次沉积牺牲层和外延层，得到层结构；b)将步骤a)得到的层结构进行图形化，并根据图形化要求剥离外延层，得到剥离好外延层的结构；c)将步骤b)得到的剥离好外延层的结构进行芯片制作并将其与线路板连接，再将蓝宝石衬底分离，得到固定在电路板上的芯片；d)将步骤c)得到的固定在电路板上的芯片封装，得到micro LED芯片的光疗仪治疗头。与现有技术相比，本发明提供的制备方法解决了目前micro LED芯片巨量转移困难的问题，效率高；同时省去了光疗仪复杂的匀光结构，提高光疗仪光照剂量的均匀度，减薄了光疗仪的厚度。

技术领域

本发明涉及LED及光医疗器械技术领域，更具体地说，是涉及一种micro LED芯片的光疗仪治疗头的制备方法。

背景技术

光疗作为一种治疗疾病的手段可追溯到1903年，丹麦科学家芬森因发明紫外线光疗法治疗皮肤病获得诺贝尔生理学或医学奖。由于当时的光疗受到光源的限制，很难满足治疗的要求，因而没有得到广泛推广。

LED光源作为新一代的照明产品，具有低能耗、省电、使用寿命长、体积小、反应快等特点，被逐渐利用在光疗仪产品上。但是，LED芯片随着技术迭代，尺寸越来越小，亮度越来越高，使得LED光源所发出的光线并非均匀的分散照射于皮肤上，长期使用，会导致光照剂量分布不均匀，影响光疗仪的治疗效果。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种micro LED芯片的光疗仪治疗头的制备方法，本发明提供的制备方法解决了目前micro LED芯片巨量转移困难的问题，同时省去了光疗仪复杂的匀光结构，提高光疗仪光照剂量的均匀度，减薄了光疗仪的厚度。

本发明提供了一种micro LED芯片的光疗仪治疗头的制备方法，包括以下步骤：

a)在蓝宝石衬底上依次沉积牺牲层和外延层，得到层结构；

b)将步骤a)得到的层结构进行图形化，并根据图形化要求剥离外延层，得到剥离好外延层的结构；

c)将步骤b)得到的剥离好外延层的结构进行芯片制作并将其与线路板连接，再将蓝宝石衬底分离，得到固定在电路板上的芯片；

d)将步骤c)得到的固定在电路板上的芯片封装，得到micro LED芯片的光疗仪治疗头。

优选的，步骤a)中所述沉积的过程采用MOCVD设备、MBE设备或 PECVD设备。

优选的，步骤a)中所述牺牲层为GaN牺牲层；

所述外延层包括nGaN层、InGaN量子阱层和pGaN层中的一种或多种。

优选的，步骤b)中所述图形化的过程采用菲林版；所述菲林版漏出的部分是需要和衬底分离的外延层部分，所述菲林版遮住的部分是不需要和衬底分离的外延层部分。

优选的，步骤b)中所述剥离外延层的方式为激光扫描辐照；所述激光扫描辐照所用的设备为紫外激光器。

优选的，所述紫外激光器进行激光扫描辐照的波长为248nm～450nm，能量密度为200mJ/cm²～5000mJ/cm²。

优选的，所述激光扫描辐照的过程具体为：

在紫外激光器作用下，紫外光透过蓝宝石衬底，辐照需要剥离的外延层，使蓝宝石衬底和需要剥离的外延层部分发生分离，不需要剥离的外延层部分留下，得到剥离好外延层的结构。

优选的，步骤c)中所述芯片制作并将其与线路板连接的过程具体为：

将剥离好外延层的结构蒸镀上电极，得到芯片；然后使用锡膏或银胶，将芯片的电极与线路板连接。