[发明专利]支撑玻璃基板和层叠体在审
| 申请号： | 202011253754.X | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112811830A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 小林裕介;鹿岛出;小野和孝;稻叶诚二;山本浩史;玉井喜芳 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | C03C21/00 | 分类号： | C03C21/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑 玻璃 层叠 | ||
1.一种支撑玻璃基板，其为在表面包含压应力层的支撑玻璃基板，其中，
所述支撑玻璃基板的50℃～200℃范围内的平均热膨胀系数为7ppm/℃～15ppm/℃，
所述支撑玻璃基板的内部拉应力为5MPa～55MPa，并且
所述压应力层的深度为10μm～60μm。
2.如权利要求1所述的支撑玻璃基板，其中，所述支撑玻璃基板的50℃～200℃范围内的平均热膨胀系数为9ppm/℃～13ppm/℃。
3.如权利要求1或如权利要求2所述的支撑玻璃基板，其中，所述支撑玻璃基板的内部拉应力为15MPa～25MPa。
4.如权利要求1～权利要求3中任一项所述的支撑玻璃基板，其中，所述压应力层的深度为15μm～30μm。
5.如权利要求1～权利要求4中任一项所述的支撑玻璃基板，其中，所述支撑玻璃基板的表面压应力为500MPa～700MPa。
6.如权利要求1～权利要求5中任一项所述的支撑玻璃基板，其中，所述支撑玻璃基板的厚度为0.5mm～2.0mm，并且所述压应力层的深度为15μm～30μm。
7.如权利要求1～权利要求6中任一项所述的支撑玻璃基板，其中，以氧化物基准的摩尔％表示，相对于所述支撑玻璃基板的总量，Na2O的含量为5％以上且15％以下，并且K2O的含量为5％以上且15％以下。
8.如权利要求1～权利要求7中任一项所述的支撑玻璃基板，其中，以氧化物基准的摩尔％表示，相对于所述支撑玻璃基板的总量，MgO的含量为6％以上且9％以下，并且ZrO2的含量为0.5％以上且2％以下。
9.如权利要求1～权利要求8中任一项所述的支撑玻璃基板，其中，以氧化物基准的摩尔％表示，所述支撑玻璃基板含有以下化合物：
SiO2：50％～80％、
Al2O3：1％～10％、
MgO：5％～10％、
CaO：1％～10％、
SrO：0％～5％、
BaO：0％～5％、
Na2O：5％～15％、
K2O：5％～15％、
ZrO2：0％～5％。
10.如权利要求1～权利要求9中任一项所述的支撑玻璃基板，其中，所述支撑玻璃基板为扇出型晶圆级封装和扇出型面板级封装中的至少一者的制造用支撑玻璃基板。
11.一种层叠体，其中，所述层叠体包含权利要求1～权利要求10中任一项所述的支撑玻璃基板和树脂层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AGC株式会社，未经AGC株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011253754.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多模式排气消声器
- 下一篇：动力传递机构的控制装置
